| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 BaTi_2O_5铁电薄膜 | 第11-21页 |
| 1.2.1 BaTi_2O_5的早期研究 | 第11页 |
| 1.2.2 BaTi_2O_5的晶体结构与铁电性 | 第11-13页 |
| 1.2.3 BaTi_2O_5材料的研究进展 | 第13-20页 |
| 1.2.4 本论文的研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 薄膜制备及表征 | 第21-29页 |
| 2.1 实验药品与设备 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验药品 | 第21-22页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第22页 |
| 2.2 前驱体溶胶的制备 | 第22-24页 |
| 2.3 薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.3.1 基板的准备 | 第24页 |
| 2.3.2 薄膜的制备 | 第24-25页 |
| 2.3.3 上电极 | 第25-26页 |
| 2.4 薄膜的测试及表征 | 第26-29页 |
| 2.4.1 X射线衍射分析(XRD) | 第26页 |
| 2.4.2 激光Raman光谱分析 | 第26页 |
| 2.4.3 薄膜表面形貌及断面分析 | 第26-27页 |
| 2.4.4 薄膜的介电性能 | 第27-28页 |
| 2.4.5 薄膜的铁电性能 | 第28-29页 |
| 第3章 BaTi_2O_5薄膜的制备及性能 | 第29-47页 |
| 3.1 热处理温度 | 第29-34页 |
| 3.1.1 薄膜的结构 | 第29-31页 |
| 3.1.2 显微形貌 | 第31-32页 |
| 3.1.3 常温介电性能 | 第32-34页 |
| 3.2 热处理时间 | 第34-37页 |
| 3.2.1 薄膜的结构 | 第34-35页 |
| 3.2.2 显微形貌 | 第35-36页 |
| 3.2.3 常温介电性能 | 第36-37页 |
| 3.3 BaTi_2O_5薄膜的性能 | 第37-45页 |
| 3.3.1 相变行为 | 第37-42页 |
| 3.3.2 室温下的铁电行为 | 第42-43页 |
| 3.3.3 漏电流特性 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 Fe~(3+)掺杂BaTi_2O_5薄膜的结构及性能 | 第47-57页 |
| 4.1 薄膜的结构及形貌 | 第47-50页 |
| 4.2 介电性能与温度的关系 | 第50-52页 |
| 4.3 变温Raman光谱 | 第52-54页 |
| 4.4 铁电性能 | 第54-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 Zr~(4+)掺杂BaTi_2O_5薄膜的结构及性能 | 第57-65页 |
| 5.1 薄膜的结构及形貌 | 第57-60页 |
| 5.2 介电性能 | 第60-63页 |
| 5.3 铁电分析 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 结论 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 附录1 硕士期间发表论文 | 第76-77页 |
| 附录2 硕士期间参加的科研项目 | 第77页 |