| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 Zr-N系纳米硬质薄膜 | 第12-16页 |
| 1.2.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2.2 薄膜制备技术 | 第13-14页 |
| 1.2.3 Zr-N系多元涂层的研究现状与进展 | 第14-16页 |
| 1.3 自适应氮化物基薄膜的摩擦磨损研究进展与现状 | 第16页 |
| 1.4 强化机制 | 第16-17页 |
| 1.5 摩擦磨损基础理论研究 | 第17-18页 |
| 1.6 选题意义与研究内容 | 第18-20页 |
| 1.6.1 选题意义 | 第18页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第20-26页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 薄膜的制备与设备 | 第20-21页 |
| 2.2.1 基本原理 | 第20-21页 |
| 2.2.2 制备设备 | 第21页 |
| 2.2.3 镀膜基片的处理方法 | 第21页 |
| 2.3 薄膜的表征 | 第21-26页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第21-22页 |
| 2.3.2 透射电子显微镜(TEM) | 第22-23页 |
| 2.3.3 能量色散谱仪(EDS) | 第23页 |
| 2.3.4 X射线衍射(XRD) | 第23页 |
| 2.3.5 纳米力学测试系统 | 第23-24页 |
| 2.3.6 摩擦磨损试验机 | 第24页 |
| 2.3.7 三维形貌仪 | 第24-26页 |
| 第3章 ZrN-Cu纳米复合膜的制备及性能研究 | 第26-45页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 薄膜制备及表征 | 第26-29页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第26-28页 |
| 3.2.2 薄膜表征 | 第28-29页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第29-43页 |
| 3.3.1 成分及微结构 | 第29-36页 |
| 3.3.2 力学性能 | 第36-39页 |
| 3.3.3 摩擦磨损性能 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 ZrN-Ag纳米复合膜的制备及性能研究 | 第45-64页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 薄膜制备及表征 | 第45-48页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第45-47页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第47-48页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第48-62页 |
| 4.3.1 成分及微结构 | 第48-54页 |
| 4.3.2 力学性能 | 第54-56页 |
| 4.3.3 摩擦磨损性能 | 第56-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 TaVN-Ag纳米复合膜的制备及性能研究 | 第64-79页 |
| 5.1 引言 | 第64-65页 |
| 5.2 薄膜制备及表征 | 第65-67页 |
| 5.2.1 薄膜制备 | 第65-66页 |
| 5.2.2 薄膜表征 | 第66-67页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第67-77页 |
| 5.3.1 成分及微结构 | 第67-71页 |
| 5.3.2 力学性能 | 第71页 |
| 5.3.3 膜基结合力 | 第71-73页 |
| 5.3.4 摩擦磨损性能 | 第73-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-91页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |