| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 前言 | 第9页 |
| 1.2 永磁材料 | 第9-11页 |
| 1.3 烧结Nd-Fe-B磁体的特点 | 第11-14页 |
| 1.3.1 烧结Nd-Fe-B磁体的结构 | 第11-13页 |
| 1.3.2 烧结Nd-Fe-B磁体磁性能 | 第13-14页 |
| 1.4 烧结Nd-Fe-B磁体的矫顽力理论 | 第14-20页 |
| 1.4.1 矫顽力的影响因素 | 第14-17页 |
| 1.4.2 矫顽力提升方法 | 第17-20页 |
| 1.5 烧结Nd-Fe-B磁体的腐蚀理论 | 第20-21页 |
| 1.5.1 磁体腐蚀机理 | 第20页 |
| 1.5.2 磁体抗腐蚀性能提升方法 | 第20-21页 |
| 1.6 本文研究意义及主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 样品制备及表征方法 | 第23-28页 |
| 2.1 实验材料及设备 | 第23-24页 |
| 2.2 样品制备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 前处理 | 第24页 |
| 2.2.2 磁控溅射 | 第24-25页 |
| 2.2.3 晶界扩散处理 | 第25-26页 |
| 2.3 结构及性能表征 | 第26-28页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第26页 |
| 2.3.2 场发射扫描电子显微镜 | 第26-27页 |
| 2.3.3 电子探针显微分析仪 | 第27页 |
| 2.3.4 电化学测试 | 第27页 |
| 2.3.5 磁学性能测试 | 第27-28页 |
| 第三章 磁控溅射重稀土Dy膜晶界扩散工艺及性能研究 | 第28-45页 |
| 3.1 前言 | 第28-29页 |
| 3.2 实验方案 | 第29-30页 |
| 3.3 磁控溅射工艺对膜层微观结构及磁体磁性能的影响 | 第30-34页 |
| 3.3.1 溅射功率对膜层表面形貌的影响 | 第30-31页 |
| 3.3.2 Dy膜层截面形貌及晶界扩散前后物相分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 溅射功率对晶界扩散磁体磁性能的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.4 溅射时间对晶界扩散磁体磁性能的影响 | 第33-34页 |
| 3.4 晶界扩散工艺对磁体微观结构及磁性能参数的影响 | 第34-38页 |
| 3.4.1 退火时间对磁体磁性能的影响 | 第34-35页 |
| 3.4.2 退火温度对磁体微观结构及磁性能的影响 | 第35-38页 |
| 3.5 Dy膜扩散磁体温度稳定性及矫顽力机制分析 | 第38-41页 |
| 3.5.1 Dy膜扩散磁体的温度稳定性 | 第38-39页 |
| 3.5.2 Dy膜扩散磁体的矫顽力机制 | 第39-40页 |
| 3.5.3 Dy膜扩散磁体的回复曲线 | 第40-41页 |
| 3.6 Dy膜扩散磁体耐蚀性研究 | 第41-44页 |
| 3.6.1 电化学测试 | 第41-42页 |
| 3.6.2 浸泡实验 | 第42-44页 |
| 3.7 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 磁控溅射Mn及DyMn复合薄膜晶界扩散性能研究 | 第45-60页 |
| 4.1 前言 | 第45页 |
| 4.2 实验方案 | 第45-46页 |
| 4.3 溅射Mn单质薄膜对磁体磁性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.4 DyMn复合薄膜溅射及其晶界扩散磁体性能研究 | 第47-59页 |
| 4.4.1 DyMn复合薄膜溅射工艺研究 | 第47-52页 |
| 4.4.2 DyMn复合薄膜晶界扩散工艺研究 | 第52-54页 |
| 4.4.3 DyMn复合膜层扩散磁体的微观结构及成分分布 | 第54-56页 |
| 4.4.4 DyMn复合膜层扩散磁体的矫顽力机制及温度稳定性 | 第56-57页 |
| 4.4.5 DyMn复合膜层扩散磁体的抗腐蚀性能 | 第57-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 磁控溅射Al及Dy/Al薄膜晶界扩散性能研究 | 第60-78页 |
| 5.1 前言 | 第60页 |
| 5.2 实验方案 | 第60-61页 |
| 5.3 晶界扩散Al单质薄膜微结构及性能研究 | 第61-71页 |
| 5.3.1 不同溅射时间对Al膜扩散磁体磁性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.3.2 不同退火温度对Al膜扩散磁体磁性能的影响 | 第62-63页 |
| 5.3.3 不同退火时间对Al膜扩散磁体磁性能的影响 | 第63-64页 |
| 5.3.4 Al膜扩散磁体的微观结构及成分分析 | 第64-68页 |
| 5.3.5 Al膜扩散磁体的温度稳定性及矫顽力机制 | 第68-69页 |
| 5.3.6 Al膜扩散磁体的抗腐蚀性能 | 第69-71页 |
| 5.4 Dy/Al分步溅射对扩散磁体性能的影响 | 第71-75页 |
| 5.4.1 Dy/Al分步溅射扩散磁体物相分析 | 第71-72页 |
| 5.4.2 Dy/Al分步溅射扩散磁体的磁性能及微观结构 | 第72-74页 |
| 5.4.3 Dy/Al分步溅射扩散磁体的矫顽力机制及温度稳定性 | 第74-75页 |
| 5.5 Dy/Al共溅射对其扩散磁体磁性能的影响 | 第75-76页 |
| 5.6 本章小结 | 第76-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-87页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
