钢领磁控溅射镀膜减摩特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 钢领工作原理及磨损形式 | 第9-10页 |
| 1.3 钢领表面处理技术国内外现状 | 第10-13页 |
| 1.3.1 抛光钢领 | 第11页 |
| 1.3.2 电镀钢领 | 第11-12页 |
| 1.3.3 自润滑耐磨钢领 | 第12页 |
| 1.3.4 陶瓷钢领 | 第12-13页 |
| 1.3.5 粉末冶金烧结钢领 | 第13页 |
| 1.4 磁控溅射技术 | 第13-17页 |
| 1.4.1 磁控溅射技术简介 | 第13-14页 |
| 1.4.2 溅射原理 | 第14-15页 |
| 1.4.3 溅射方式 | 第15-16页 |
| 1.4.4 磁控溅射技术减摩耐磨膜层研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 研究的主要内容和技术路线 | 第17-20页 |
| 1.5.1 研究目标 | 第17页 |
| 1.5.2 研究主要内容 | 第17-18页 |
| 1.5.3 研究的技术路线 | 第18-20页 |
| 2 试验设计与方法 | 第20-38页 |
| 2.1 试验材料 | 第20-22页 |
| 2.1.1 基体材料 | 第20-21页 |
| 2.1.2 基体材料预处理 | 第21页 |
| 2.1.3 试验靶材及气体 | 第21-22页 |
| 2.2 试验设备 | 第22-25页 |
| 2.2.1 中频磁控溅射镀膜机 | 第22-23页 |
| 2.2.2 抽真空系统 | 第23页 |
| 2.2.3 电源控制系统 | 第23-24页 |
| 2.2.4 配气系统 | 第24-25页 |
| 2.3 检测设备 | 第25-28页 |
| 2.3.1 摩擦磨损试验机 | 第25页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜能谱仪 | 第25-26页 |
| 2.3.3 X射线衍射仪 | 第26-27页 |
| 2.3.4 表面粗糙度仪 | 第27页 |
| 2.3.5 盐雾腐蚀试验箱 | 第27页 |
| 2.3.6 毛羽测试仪 | 第27-28页 |
| 2.4 真空磁控溅射镀膜工艺 | 第28-29页 |
| 2.4.1 镀膜前处理 | 第28-29页 |
| 2.4.2 镀膜工艺流程 | 第29页 |
| 2.5 试验工艺参数确定 | 第29-30页 |
| 2.6 试验方案确定 | 第30-32页 |
| 2.6.1 铬膜层 | 第30页 |
| 2.6.2 石墨自润滑膜层 | 第30-31页 |
| 2.6.3 氮化钛硬质膜层 | 第31-32页 |
| 2.6.4 Cr/TiN双层膜试验方案 | 第32页 |
| 2.7 试验方法 | 第32-38页 |
| 2.7.1 正交试验法 | 第32页 |
| 2.7.2 正交试验设计 | 第32-38页 |
| 3 试验参数对钢领表面摩擦系数的影响 | 第38-44页 |
| 3.1 试验结果计算 | 第38页 |
| 3.2 试验参数影响分析 | 第38-42页 |
| 3.2.1 氮气流量对摩擦系数的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.2 镀膜功率对摩擦系数的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.3 镀膜时间对摩擦系数的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.4 炉内温度对摩擦系数的影响 | 第41-42页 |
| 3.2.5 极差值的分析 | 第42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 单因素试验和Cr/TiN薄膜减摩效果分析 | 第44-53页 |
| 4.1 氮气流量单因素试验 | 第44-45页 |
| 4.2 氮气流量对表面摩擦系数的影响 | 第45-46页 |
| 4.3 不同氮气流量下膜层形貌电镜分析 | 第46-47页 |
| 4.4 不同氮气流量下膜层成分能谱分析 | 第47-49页 |
| 4.5 膜层XRD检测分析 | 第49-51页 |
| 4.6 确定镀膜工艺参数 | 第51-52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 Cr/TiN薄膜性能检测 | 第53-58页 |
| 5.1 薄膜硬度及附着力 | 第53页 |
| 5.2 薄膜的表面粗糙度 | 第53页 |
| 5.3 薄膜耐蚀性能 | 第53-55页 |
| 5.4 应用测试 | 第55-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 结论与展望 | 第58-59页 |
| 6.1 结论 | 第58页 |
| 6.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 作者简历 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 中文详细摘要 | 第65-66页 |
