| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 缓蚀剂 | 第7-11页 |
| 1.2.1 缓蚀剂的分类 | 第7-9页 |
| 1.2.2 有机缓蚀剂 | 第9页 |
| 1.2.3 咪唑啉类缓蚀剂 | 第9-10页 |
| 1.2.4 巯基类缓蚀剂 | 第10-11页 |
| 1.3 缓蚀剂的协同作用 | 第11-13页 |
| 1.4 研究内容 | 第13页 |
| 1.5 技术路线 | 第13-15页 |
| 第2章 理论方法与软件 | 第15-18页 |
| 2.1 分子模拟方法 | 第15-17页 |
| 2.1.1 分子力学模拟 | 第15-16页 |
| 2.1.3 分子动力学模拟 | 第16-17页 |
| 2.2 模拟软件 | 第17-18页 |
| 第3章 水溶液中不同浓度的油酸基咪唑啉在铁表面的吸附模拟 | 第18-26页 |
| 3.1 模型建立与模拟方法 | 第18-20页 |
| 3.1.1 模型建立 | 第18-19页 |
| 3.1.2 分子力学模拟 | 第19-20页 |
| 3.1.3 分子动力学模拟 | 第20页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第20-25页 |
| 3.2.1 吸附平衡判定 | 第20-22页 |
| 3.2.2 浓度对油酸基咪唑啉缓蚀剂缓蚀性能的影响 | 第22-25页 |
| 3.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 水溶液中油酸基咪唑啉与巯基乙醇在铁表面的吸附模拟 | 第26-45页 |
| 4.1 巯基乙醇分子与油酸基咪唑啉分子在铁表面的吸附模拟 | 第26-29页 |
| 4.1.1 模型建立与模拟方法 | 第26-28页 |
| 4.1.2 结果与讨论 | 第28-29页 |
| 4.2 不同比例的油酸基咪唑啉与巯基乙醇在铁表面的吸附模拟 | 第29-38页 |
| 4.2.1 模型建立与模拟方法 | 第29-33页 |
| 4.2.2 结果与讨论 | 第33-38页 |
| 4.3 温度对油酸基咪唑啉与巯基乙醇协同作用的影响 | 第38-44页 |
| 4.3.1 模型建立与模拟方法 | 第38-40页 |
| 4.3.2 结果与讨论 | 第40-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 NaCl溶液中油酸基咪唑啉与巯基乙醇在铁表面的吸附模拟 | 第45-55页 |
| 5.1 模型建立与模拟方法 | 第45-49页 |
| 5.1.1 模型建立 | 第45-46页 |
| 5.1.2 分子力学模拟 | 第46-47页 |
| 5.1.3 分子动力学模拟 | 第47-49页 |
| 5.2 结果与讨论 | 第49-54页 |
| 5.2.1 缓蚀剂膜 | 第49-52页 |
| 5.2.2 缓蚀剂膜的排水性及对氯离子的排斥作用 | 第52-53页 |
| 5.2.3 缓蚀剂膜的吸附强度 | 第53-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 结论与建议 | 第55-57页 |
| 6.1 结论 | 第55-56页 |
| 6.2 建议 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第66页 |
