| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-35页 |
| 1.1 光刻技术发展概括 | 第11-12页 |
| 1.2 光刻胶概述 | 第12-32页 |
| 1.2.1 负型光刻胶 | 第12-14页 |
| 1.2.2 正型光刻胶 | 第14-32页 |
| 1.3 国内外行业研究现状及意义 | 第32-33页 |
| 1.3.1 国内外行业研究现状 | 第32页 |
| 1.3.2 本课题研究意义 | 第32-33页 |
| 1.4 本课题立题依据及主要研究内容 | 第33-35页 |
| 1.4.1 立题依据 | 第33页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第二章 线性光敏丙烯酸共聚物的合成及应用 | 第35-63页 |
| 2.1 引言 | 第35-36页 |
| 2.2 实验部分 | 第36-39页 |
| 2.2.1 主要原料和试剂 | 第36页 |
| 2.2.2 实验仪器和设备 | 第36-37页 |
| 2.2.3 线性光敏丙烯酸共聚物的合成 | 第37-38页 |
| 2.2.4 分析测试方法 | 第38-39页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第39-51页 |
| 2.3.1 共聚物PTAB和G-PTAB结构表征 | 第39-40页 |
| 2.3.2 固含量的确定 | 第40-42页 |
| 2.3.3 引发剂和链转移剂用量的确定 | 第42-43页 |
| 2.3.4 不同反应温度对共聚物性能的影响 | 第43页 |
| 2.3.5 不同AA含量对共聚物性能的影响 | 第43-45页 |
| 2.3.6 共聚物G-PTAB性能影响因素 | 第45-49页 |
| 2.3.7 共聚物G-PTAB性能分析 | 第49-51页 |
| 2.4 负型光刻胶的配制及其光刻工艺评价 | 第51-61页 |
| 2.4.1 引言 | 第51-52页 |
| 2.4.2 实验部分 | 第52-53页 |
| 2.4.3 结果与讨论 | 第53-61页 |
| 2.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第三章 支化型光敏聚(苯乙烯-alt-马来酸酐)共聚物的合成及应用 | 第63-79页 |
| 3.1 引言 | 第63-64页 |
| 3.2 实验部分 | 第64-67页 |
| 3.2.1 实验原料 | 第64页 |
| 3.2.2 实验仪器及设备 | 第64-65页 |
| 3.2.3 实验步骤 | 第65-66页 |
| 3.2.4 测试表征 | 第66-67页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第67-73页 |
| 3.3.1 VBT结构表征 | 第67-68页 |
| 3.3.2 支化共聚物的结构表征 | 第68-69页 |
| 3.3.3 不同反应条件对HEMA取代度的影响 | 第69-72页 |
| 3.3.4 不同支化单体含量对共聚物热行为的影响 | 第72-73页 |
| 3.4 支化及线性光敏共聚物在负型光刻胶中的应用 | 第73-77页 |
| 3.4.1 引言 | 第73-74页 |
| 3.4.2 实验部分 | 第74-75页 |
| 3.4.3 结果与讨论 | 第75-77页 |
| 3.5 本章小结 | 第77-79页 |
| 第四章 RAFT法合成深紫外光刻胶成膜树脂及应用 | 第79-113页 |
| 4.1 引言 | 第79-81页 |
| 4.2 实验部分 | 第81-83页 |
| 4.2.1 主要实验试剂 | 第81页 |
| 4.2.2 主要实验仪器 | 第81页 |
| 4.2.3 RAFT法合成共聚物PASTM | 第81-82页 |
| 4.2.4 性能测试及表征 | 第82-83页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第83-106页 |
| 4.3.1 共聚物表征 | 第83-84页 |
| 4.3.2 单因素实验 | 第84-88页 |
| 4.3.3 正交实验 | 第88-89页 |
| 4.3.4 醇解实验 | 第89-92页 |
| 4.3.5 RAFT法聚合动力学特征 | 第92-97页 |
| 4.3.6 RAFT法聚合二元共聚物序列及链段分布 | 第97-106页 |
| 4.4 共聚物PASTM在248nm光刻胶中的应用 | 第106-112页 |
| 4.4.1 主要试剂 | 第106页 |
| 4.4.2 主要仪器和测试条件 | 第106-107页 |
| 4.4.3 实验部分 | 第107页 |
| 4.4.4 结果与讨论 | 第107-112页 |
| 4.5 本章小结 | 第112-113页 |
| 第五章 基于环三璘腈分子玻璃成膜树脂的合成及应用 | 第113-129页 |
| 5.1 引言 | 第113-114页 |
| 5.2 实验部分 | 第114-116页 |
| 5.2.1 实验试剂 | 第114页 |
| 5.2.2 实验仪器及设备 | 第114页 |
| 5.2.3 实验步骤 | 第114-116页 |
| 5.2.4 测试表征 | 第116页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第116-125页 |
| 5.3.1 HAPCP结构表征 | 第116-119页 |
| 5.3.2 HHPCP结构表征 | 第119-122页 |
| 5.3.3 tBOC-HHPCP结构表征 | 第122-125页 |
| 5.4 基于环三磷腈分子玻璃光刻胶的应用 | 第125-128页 |
| 5.4.1 引言 | 第125页 |
| 5.4.2 实验部分 | 第125-126页 |
| 5.4.3 测试表征 | 第126页 |
| 5.4.4 结果与讨论 | 第126-128页 |
| 5.5 本章小结 | 第128-129页 |
| 第六章 结论与展望 | 第129-131页 |
| 6.1 结论 | 第129-130页 |
| 6.2 展望及不足之处 | 第130-131页 |
| 主要创新点 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-148页 |
| 附录一：攻读博士学位期间发表的论文及专利 | 第148-150页 |
| 附录二：攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第150-151页 |
| 附录三：Matlab软件编写共聚组成曲线主程序 | 第151页 |
