压电微探针中PZT薄膜与硅尖制备工艺的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-17页
·压电微悬臂梁探针的发展	第8-10页
·压电微悬臂梁探针的分类	第10-14页
·PZT薄膜残余应力的研究现状	第14-15页
·本课题的研究意义与内容	第15-17页
2 PZT压电薄膜的制备工艺研究	第17-24页
·PZT压电薄膜的制备工艺及特点	第17-18页
·溶胶-凝胶法制备PZT压电薄膜样品	第18-20页
·PZT压电薄膜的X射线衍射(XRD)性能研究	第20-22页
·退火温度对PZT压电薄膜的影响	第20-21页
·薄膜厚度对PZT压电薄膜的影响	第21-22页
·本章小节	第22-24页
3 PZT薄膜残余应力测试	第24-34页
·PZT薄膜残余应力的种类	第24-26页
·薄膜的残余应力测试	第26-33页
·Pt薄膜退火	第27-29页
·溶胶-凝胶法制备PZT压电薄膜的应力测试	第29-33页
·本章小节	第33-34页
4 压电微悬臂梁探针制作工艺研究与测试	第34-40页
·压电微悬臂梁探针的主要制作工艺	第34-35页
·压电微悬臂梁探针的制作工艺改进	第35-37页
·硅尖的腐蚀工艺	第35-37页
·PZT薄膜的腐蚀工艺	第37页
·压电微悬臂梁探针的频率测试	第37-39页
·压电微悬臂梁探针频率的理论计算	第38页
·压电微悬臂梁探针频率的测试	第38-39页
·本章小节	第39-40页
结论	第40-41页
参考文献	第41-44页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第44-45页
致谢	第45-47页