| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| ·CF_4的来源和危害 | 第10-13页 |
| ·CF_4的来源 | 第10-11页 |
| ·CF_4对环境的影响 | 第11-13页 |
| ·CF_4去除的工艺方法 | 第13-22页 |
| ·燃烧分解工艺 | 第13-14页 |
| ·催化热分解工艺 | 第14-15页 |
| ·等离子体分解工艺 | 第15-22页 |
| ·NO_x的来源和危害 | 第22-24页 |
| ·NO_x的性质与来源 | 第22-23页 |
| ·NO_x的危害 | 第23-24页 |
| ·NO_x的脱除研究现状 | 第24-28页 |
| ·还原催化法 | 第25-26页 |
| ·等离子体与催化剂联合法 | 第26-28页 |
| ·本论文研究意义和内容 | 第28-30页 |
| ·研究意义 | 第28-29页 |
| ·研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 不同催化剂对等离子体去除CF_4过程NO_x产生量的影响 | 第30-53页 |
| ·实验部分 | 第30-34页 |
| ·实验仪器和设备 | 第30页 |
| ·实验气体和药品 | 第30-31页 |
| ·催化剂的选取及制备 | 第31-33页 |
| ·实验装置和方法 | 第33-34页 |
| ·微波等离子去除CF_4过程中副产物NO_x的产生量 | 第34-36页 |
| ·氧气的添加量对CF_4去除率的影响 | 第34-35页 |
| ·微波等离子去除CF_4过程中NO_x的产生量 | 第35-36页 |
| ·Al_2O_3催化剂对NO_x生成量的影响 | 第36-37页 |
| ·等离子体与Ag/Al_2O_3联合作用对NO_x生成量的影响 | 第37-43页 |
| ·Ag/Al_2O_3催化剂对NO_x生成量的影响 | 第37-40页 |
| ·Ag/Al_2O_3催化剂使用寿命的初步研究 | 第40-41页 |
| ·Ag/Al_2O_3催化剂减量NO_x生成的机理初步探讨 | 第41-43页 |
| ·等离子体与MnO_2/Al_2O_3联合作用对NO_x生成量的影响 | 第43-47页 |
| ·MnO_2/Al_2O_3催化剂对NO_x生成量的影响 | 第43-46页 |
| ·MnO_2/Al_2O_3催化剂使用寿命的初步研究 | 第46-47页 |
| ·等离子体与MnO_2/2wt%Ag/Al_2O_3联合作用对NO_x生成量的影响 | 第47-51页 |
| ·MnO_2/2wt%Ag/Al_2O_3催化剂对NO_x生成量的影响 | 第47-51页 |
| ·MnO_2/2wt%Ag/Al_2O_3催化剂使用寿命的初步研究 | 第51页 |
| ·等离子体与不同催化剂联合作用对副产物NO_x减量效果比较 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第3章 大气压微波等离子体与催化剂协同作用分解CF_4 | 第53-62页 |
| ·实验部分 | 第53页 |
| ·实验仪器和设备 | 第53页 |
| ·实验气体与药品 | 第53页 |
| ·实验使用的催化剂 | 第53页 |
| ·实验装置和方法 | 第53页 |
| ·催化剂中Ag的负载量对CF_4的去除率的影响 | 第53-54页 |
| ·催化剂中MnO_2的负载量对CF_4的去除率的影响 | 第54-56页 |
| ·催化剂中同时负载Ag、MnO_2对CF_4的去除率的影响 | 第56-57页 |
| ·微波等离子体与MnO_2/2wt%Ag/Al_2O_3协同作用分解CF_4机理探讨 | 第57-60页 |
| ·能量利用效率 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
