高压下电学测量中金属压腔侧壁绝缘新方法
论文提要 | 第1-7页 |
第一章 前言 | 第7-14页 |
·高压物理学简介 | 第7页 |
·高压装置 | 第7-10页 |
·金刚石对顶砧装置的应用 | 第8-10页 |
·高压电学原位测量技术的发展与应用 | 第10-11页 |
·高压电学原位测量技术的发展 | 第10-11页 |
·高压电学原位测量技术的应用 | 第11-12页 |
·高压电学的研究意义 | 第12-13页 |
·论文的选题目的和意义 | 第13-14页 |
第二章 测量微电路在金刚石对顶砧上的集成 | 第14-19页 |
·测量微电路在金刚石对顶砧上的集成 | 第14-17页 |
·金属钼膜的溅射 | 第14页 |
·金属钼薄膜的图形化 | 第14-15页 |
·氧化铝绝缘层的制备 | 第15-17页 |
·样品的组装 | 第17-18页 |
·小结 | 第18-19页 |
第三章 ANSYS 的简单介绍及在实验中的应用 | 第19-29页 |
·有限元分析方法ANSYS 简介 | 第19页 |
·ANSYS 主要功能 | 第19-25页 |
·计算结果 | 第25-28页 |
·小结 | 第28-29页 |
第四章 PMMA 绝缘垫片制备方法的研究 | 第29-38页 |
·金属垫片的优、缺点 | 第29-30页 |
·侧壁绝缘问题分析 | 第30-31页 |
·传统的四电极法与两电极法的对比 | 第31-34页 |
·PMMA 绝缘垫片制备 | 第34-36页 |
·配比溶液浓度 | 第34-35页 |
·电极的制作过程 | 第35页 |
·实验结果 | 第35-36页 |
·两种实验方法进行对比 | 第36页 |
·实验总结 | 第36-38页 |
参考文献 | 第38-41页 |
中文摘要 | 第41-43页 |
ABSTRACT | 第43-46页 |
致谢 | 第46页 |