AlN体单晶的性质、抛光与外延研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 AlN的晶体结构与性质 | 第9-12页 |
| 1.3 AlN的应用 | 第12页 |
| 1.4 AlN晶体的制备方法 | 第12-16页 |
| 1.4.1 PVT法生长AlN晶体 | 第13-15页 |
| 1.4.2 HVPE法生长AlN晶体 | 第15-16页 |
| 1.5 材料表征方法 | 第16-18页 |
| 1.5.1 X射线衍射(XRD) | 第16页 |
| 1.5.2 透射电子显微镜(TEM) | 第16-17页 |
| 1.5.3 光致发光(PL)光谱 | 第17页 |
| 1.5.4 拉曼散射(Raman) | 第17-18页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-25页 |
| 第二章 PVT-AlN体单晶的性质与抛光研究 | 第25-37页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 PVT-AlN体单晶的性质 | 第25-31页 |
| 2.2.1 实验与表征 | 第25-26页 |
| 2.2.2 结果与讨论 | 第26-31页 |
| 2.3 PVT-AlN体单晶的化学机械抛光 | 第31-34页 |
| 2.3.1 化学机械抛光原理简介 | 第31-32页 |
| 2.3.2 蓝宝石陪片辅助方法 | 第32-33页 |
| 2.3.3 化学机械抛光实验 | 第33-34页 |
| 2.4 小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-37页 |
| 第三章 单晶AlN衬底上外延AlGaN研究 | 第37-45页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 实验与表征 | 第37-38页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第38-42页 |
| 3.4 小结 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第四章 结论 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第47-48页 |
