| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 平行度误差测量的国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 平行度测量国内外研究现状综述 | 第17-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 基于双频激光干涉原理的平行度测量系统 | 第20-30页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 双频激光干涉测量原理分析 | 第20-22页 |
| 2.3 平行度测量系统结构设计 | 第22-26页 |
| 2.4 平行度测量模型建立 | 第26-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 运动机构耦合位移检测与补偿 | 第30-41页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 二维位移机构设计与仿真分析 | 第30-36页 |
| 3.2.1 二维位移机构设计与优化 | 第30-31页 |
| 3.2.2 位移机构静力学与动力学仿真 | 第31-34页 |
| 3.2.3 运动机构Z向耦合位移对测量系统影响分析 | 第34-35页 |
| 3.2.4 运动机构耦合位移检测系统设计 | 第35-36页 |
| 3.3 耦合位移检测电路设计 | 第36-40页 |
| 3.3.1 位置敏感探测器 | 第36-37页 |
| 3.3.2 基于MSP430 单片机的PSD电路设计 | 第37-39页 |
| 3.3.3 PSD电路位移分辨力测试 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 平行度评定数学模型 | 第41-49页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 平行度误差评定原则分析 | 第41-44页 |
| 4.2.1 模拟法建立基准平面 | 第42-43页 |
| 4.2.2 直接法建立基准平面 | 第43页 |
| 4.2.3 分析法建立基准平面 | 第43-44页 |
| 4.2.4 目标法建立基准平面 | 第44页 |
| 4.3 平行度误差评定模型建立 | 第44-48页 |
| 4.3.1 基于最小区域原则拟合基准面 | 第44-46页 |
| 4.3.2 基于最小二乘原则拟合基准面 | 第46-47页 |
| 4.3.3 基于公差原则拟合基准面 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 平行度测量实验与测量不确定度评定 | 第49-59页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 平行度测量实验 | 第49-51页 |
| 5.3 位移机构Z向耦合位移测量实验 | 第51-53页 |
| 5.4 测量结果不确定度评定 | 第53-58页 |
| 5.4.1 GUM法评定测量不确定度 | 第53-54页 |
| 5.4.2 测量不确定度评定的数学模型 | 第54-56页 |
| 5.4.3 各不确定度分量分析与确定 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 致谢 | 第67页 |