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双面平行度测量方法与评定策略研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第10-11页
    1.2 平行度误差测量的国内外研究现状第11-17页
    1.3 平行度测量国内外研究现状综述第17-19页
    1.4 本文的主要研究内容第19-20页
第2章 基于双频激光干涉原理的平行度测量系统第20-30页
    2.1 引言第20页
    2.2 双频激光干涉测量原理分析第20-22页
    2.3 平行度测量系统结构设计第22-26页
    2.4 平行度测量模型建立第26-29页
    2.5 本章小结第29-30页
第3章 运动机构耦合位移检测与补偿第30-41页
    3.1 引言第30页
    3.2 二维位移机构设计与仿真分析第30-36页
        3.2.1 二维位移机构设计与优化第30-31页
        3.2.2 位移机构静力学与动力学仿真第31-34页
        3.2.3 运动机构Z向耦合位移对测量系统影响分析第34-35页
        3.2.4 运动机构耦合位移检测系统设计第35-36页
    3.3 耦合位移检测电路设计第36-40页
        3.3.1 位置敏感探测器第36-37页
        3.3.2 基于MSP430 单片机的PSD电路设计第37-39页
        3.3.3 PSD电路位移分辨力测试第39-40页
    3.4 本章小结第40-41页
第4章 平行度评定数学模型第41-49页
    4.1 引言第41页
    4.2 平行度误差评定原则分析第41-44页
        4.2.1 模拟法建立基准平面第42-43页
        4.2.2 直接法建立基准平面第43页
        4.2.3 分析法建立基准平面第43-44页
        4.2.4 目标法建立基准平面第44页
    4.3 平行度误差评定模型建立第44-48页
        4.3.1 基于最小区域原则拟合基准面第44-46页
        4.3.2 基于最小二乘原则拟合基准面第46-47页
        4.3.3 基于公差原则拟合基准面第47-48页
    4.4 本章小结第48-49页
第5章 平行度测量实验与测量不确定度评定第49-59页
    5.1 引言第49页
    5.2 平行度测量实验第49-51页
    5.3 位移机构Z向耦合位移测量实验第51-53页
    5.4 测量结果不确定度评定第53-58页
        5.4.1 GUM法评定测量不确定度第53-54页
        5.4.2 测量不确定度评定的数学模型第54-56页
        5.4.3 各不确定度分量分析与确定第56-58页
    5.5 本章小结第58-59页
结论第59-61页
参考文献第61-67页
致谢第67页

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