| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 固体电解质 | 第15-17页 |
| 1.1.1 固体电解质的介绍 | 第15-16页 |
| 1.1.2 固体电解质的应用 | 第16-17页 |
| 1.1.3 固体电解质的分类 | 第17页 |
| 1.2 锂离子无机固体电解质 | 第17-19页 |
| 1.2.1 晶态锂离子固体电解质 | 第17-18页 |
| 1.2.2 玻璃态锂离子固体电解质 | 第18-19页 |
| 1.3 LLTO薄膜的基本性质及研究进展 | 第19-20页 |
| 1.3.1 LLTO薄膜的基本性质 | 第19-20页 |
| 1.3.2 LLTO薄膜的研究概况 | 第20页 |
| 1.4 LiPON薄膜的基本性质及研究进展 | 第20-22页 |
| 1.4.1 LiPON薄膜的基本性质 | 第20-21页 |
| 1.4.2 LiPON薄膜的研究概况 | 第21-22页 |
| 1.5 本文研究的目的、内容和创新点 | 第22-23页 |
| 1.5.1 研究目的 | 第22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22页 |
| 1.5.3 本文的创新点 | 第22-23页 |
| 第二章 薄膜的制备和表征 | 第23-35页 |
| 2.1 薄膜的形成过程 | 第23-25页 |
| 2.2 薄膜的制备方法 | 第25-29页 |
| 2.2.1 溅射镀膜法 | 第25-26页 |
| 2.2.2 真空蒸发镀膜法 | 第26页 |
| 2.2.3 离子束沉积镀膜法 | 第26-27页 |
| 2.2.4 分子束外延镀膜法 | 第27页 |
| 2.2.5 脉冲激光沉积镀膜法 | 第27-28页 |
| 2.2.6 化学气相沉积 | 第28页 |
| 2.2.7 溶胶-凝胶法 | 第28-29页 |
| 2.3 磁控溅射法制备薄膜 | 第29-32页 |
| 2.3.1 磁控溅射法的原理 | 第29页 |
| 2.3.2 磁控溅射法制备薄膜的操作流程 | 第29-32页 |
| 2.4 薄膜的表征方法 | 第32-34页 |
| 2.4.1 X射线衍射分析(XRD) | 第32页 |
| 2.4.2 紫外可见近红外分光光度计 | 第32-33页 |
| 2.4.3 交流阻抗谱测试分析 | 第33页 |
| 2.4.4 原子力显微镜 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 LLTO薄膜的制备及性能 | 第35-43页 |
| 3.1 LLTO靶材的制备 | 第35-37页 |
| 3.2 LLTO薄膜的制备 | 第37-38页 |
| 3.3 退火温度与LLTO薄膜的结构及性能 | 第38-42页 |
| 3.3.1 退火温度对LLTO薄膜组织结构的影响 | 第38页 |
| 3.3.2 退火温度对LLTO薄膜表面形貌的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.3 退火温度对LLTO薄膜离子电导率的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.4 退火温度对LLTO薄膜可见光透过率的影响 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 LiPON薄膜的制备及性能研究 | 第43-53页 |
| 4.1 Li_3PO_4靶材的制备 | 第43-44页 |
| 4.2 LiPON薄膜沉积速率的研究 | 第44-49页 |
| 4.2.1 溅射气压对LiPON薄膜沉积速率的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.2 溅射功率对LiPON薄膜沉积速率的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.3 N_2流量对LiPON薄膜沉积速率的影响 | 第48-49页 |
| 4.3 LiPON薄膜的XRD分析 | 第49-50页 |
| 4.4 溅射功率对LiPON薄膜AFM形貌的影响 | 第50-51页 |
| 4.5 溅射功率对LiPON薄膜离子电导率的影响 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 单基片式电致变色器件制备探索 | 第53-61页 |
| 5.1 电致变色器件 | 第53-55页 |
| 5.1.1 透明导电层 | 第53页 |
| 5.1.2 对电极层 | 第53-54页 |
| 5.1.3 电致变色层 | 第54页 |
| 5.1.4 电解质层 | 第54-55页 |
| 5.2 以LLTO薄膜为电解质层的单基片式器件 | 第55-57页 |
| 5.2.1 各功能层的制备工艺 | 第55-56页 |
| 5.2.2 器件的变色测试 | 第56-57页 |
| 5.2.3 测试结果分析 | 第57页 |
| 5.3 以LiPON薄膜为电解质层的单基片式器件 | 第57-58页 |
| 5.3.1 LiPON薄膜和其它功能层的制备工艺 | 第57-58页 |
| 5.3.2 器件变色测试与分析 | 第58页 |
| 5.4 以LLTO/LiPON/LLTO为电解质层的单基片式器件 | 第58-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68页 |
