| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 非球面的基本知识及面形检测技术 | 第9-13页 |
| 1.2.1 非球面的基本知识 | 第9-11页 |
| 1.2.2 非球面面形检测技术 | 第11-13页 |
| 1.3 径向剪切干涉技术的优势 | 第13-15页 |
| 1.4 径向剪切干涉技术的国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 本论文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 径向剪切干涉系统及波面理论 | 第18-23页 |
| 2.1 典型的径向剪切干涉系统 | 第18-20页 |
| 2.1.1 马赫型干涉系统 | 第18页 |
| 2.1.2 波带片型干涉系统 | 第18-19页 |
| 2.1.3 环形干涉系统 | 第19-20页 |
| 2.2 径向剪切干涉原理 | 第20-22页 |
| 2.2.1 径向剪切干涉系统设计 | 第20页 |
| 2.2.2 径向剪切干涉光学原理 | 第20-21页 |
| 2.2.3 径向剪切波面特征 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 干涉条纹处理技术 | 第23-34页 |
| 3.1 干涉图预处理 | 第23-25页 |
| 3.1.1 干涉图像增强 | 第23-24页 |
| 3.1.2 干涉图空域延拓 | 第24-25页 |
| 3.2 干涉图的相位提取 | 第25-32页 |
| 3.2.1 FFT的基本原理 | 第25-26页 |
| 3.2.2 相位提取中需要解决的几个问题 | 第26-30页 |
| 3.2.3 二维傅里叶变换法的仿真实验 | 第30-32页 |
| 3.3 改进的相位提取方法 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 基于Zernike多项式的波面拟合 | 第34-48页 |
| 4.1 Zernike多项式 | 第34-35页 |
| 4.2 波面面形的主要评价指标 | 第35-36页 |
| 4.3 Zernike多项式系数的求解 | 第36-39页 |
| 4.3.1 最小二乘法 | 第36-37页 |
| 4.3.2 施密特(Gram-Schimdt)正交法 | 第37-38页 |
| 4.3.3 Householder变换法 | 第38-39页 |
| 4.4 波面拟合精度与系数求解方法的研究 | 第39-43页 |
| 4.5 波面拟合精度与波面复杂度的研究 | 第43-46页 |
| 4.6 波面拟合精度与采样点数目的研究 | 第46-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 径向剪切干涉波面重构 | 第48-61页 |
| 5.1 基于迭代算法的波面重构理论 | 第48-49页 |
| 5.2 波面重构仿真实验 | 第49-55页 |
| 5.2.1 波面重构精度与迭代次数的研究 | 第49-51页 |
| 5.2.2 波面重构精度与剪切比的研究 | 第51-53页 |
| 5.2.3 波面重构精度与畸变量的研究 | 第53-55页 |
| 5.3 改进的迭代算法原理 | 第55-57页 |
| 5.4 改进迭代算法的仿真实验 | 第57-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 非球面检测系统的设计及实验验证 | 第61-72页 |
| 6.1 实验装置 | 第61-68页 |
| 6.1.1 分光棱镜的设计 | 第61-62页 |
| 6.1.2 望远系统的设计 | 第62-66页 |
| 6.1.3 其他器件的选型 | 第66-68页 |
| 6.2 实验光路的调整 | 第68-69页 |
| 6.3 非球面面形的检测实验 | 第69-70页 |
| 6.4 误差分析 | 第70-71页 |
| 6.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 7 结论与展望 | 第72-75页 |
| 7.1 结论 | 第72页 |
| 7.2 展望 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-82页 |
| 附录 | 第82-84页 |