| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 引言 | 第11-23页 |
| 1.1 低维ZnO结构的生长方法 | 第11-15页 |
| 1.1.1 制备ZnO棒状结构的方法 | 第12-14页 |
| 1.1.2 制备ZnO薄膜的方法 | 第14-15页 |
| 1.2 微区限制下生长ZnO结构的方法 | 第15-20页 |
| 1.2.1 光刻技术 | 第15-16页 |
| 1.2.2 电子束刻蚀技术 | 第16-18页 |
| 1.2.3 压印技术 | 第18-19页 |
| 1.2.4 微/纳米球刻蚀技术 | 第19-20页 |
| 1.3 目前图案化制备技术存在的问题 | 第20-21页 |
| 1.4 本论文主要研究的内容 | 第21-23页 |
| 2 表面微区限制下ZnO棒的水热生长过程研究 | 第23-47页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 磁控籽晶层上的ZnO生长特性研究 | 第23-35页 |
| 2.2.1 制备ZnO籽晶层 | 第23-24页 |
| 2.2.2 不同磁控溅射参数制备ZnO薄膜的结晶性能关系 | 第24-31页 |
| 2.2.3 微区限制下ZnO棒的生长 | 第31-35页 |
| 2.3 单晶氧化锌衬底上生长ZnO棒的研究 | 第35-37页 |
| 2.3.1 一维ZnO棒的制备 | 第36页 |
| 2.3.2 一维ZnO棒的样品形貌分析 | 第36-37页 |
| 2.4 微米级微区限制下ZnO棒生长的研究 | 第37-41页 |
| 2.4.1 样品的制备 | 第37-38页 |
| 2.4.2 实验结果分析 | 第38-41页 |
| 2.5 溶胶凝胶籽晶层上生长ZnO棒的研究 | 第41-45页 |
| 2.5.1 溶胶凝胶法制备ZnO籽晶层过程 | 第41-42页 |
| 2.5.2 实验结果分析 | 第42-45页 |
| 2.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 3 表面微区限制下ZnO结构的光致发光特性研究 | 第47-57页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 微区光致发光测试系统 | 第47-48页 |
| 3.3 不同反应时间生长ZnO棒的光致发光特性研究 | 第48-50页 |
| 3.4 不同光刻胶限制尺寸生长ZnO棒的光致发光特性研究 | 第50-52页 |
| 3.5 不同籽晶层制备方法生长ZnO棒的光致发光特性研究 | 第52-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 4 基于表面微区限制下ZnO复合结构的电学性能研究 | 第57-65页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 ZnO/Cu_2O异质结构的电学特性研究 | 第57-62页 |
| 4.2.1 ZnO/Cu_2O异质结的制备 | 第57-59页 |
| 4.2.2 ZnO/Cu_2O异质结的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第59-62页 |
| 4.3 ZnO/p-Si的异质结的研究 | 第62-64页 |
| 4.3.1 ZnO/p-Si的异质结的制备 | 第62-63页 |
| 4.3.2 ZnO/p-Si的异质结的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 基于模板辅助微区限制下ZnO结构的研究 | 第65-69页 |
| 5.1 引言 | 第65页 |
| 5.2 基于单层胶体模板微区阵列的方法 | 第65-67页 |
| 5.3 ZnO生长的研究 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 6 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第75-79页 |
| 学位论文数据集 | 第79页 |
