| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究背景、目的以及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 石英玻璃材料的应用和发展概述 | 第10-11页 |
| 1.2.1 石英玻璃材料的应用 | 第10-11页 |
| 1.2.2 石英玻璃材料的发展 | 第11页 |
| 1.3 石英玻璃的加工技术 | 第11-15页 |
| 1.3.1 石英玻璃精密抛光加工 | 第11-12页 |
| 1.3.2 石英玻璃超精密车削加工 | 第12-13页 |
| 1.3.3 石英玻璃微细磨削加工与超声磨削加工 | 第13-14页 |
| 1.3.3.1 石英玻璃微细磨削加工 | 第13页 |
| 1.3.3.2 石英玻璃超声磨削加工 | 第13-14页 |
| 1.3.4 石英玻璃微细铣削加工与超声振动辅助铣削加工 | 第14-15页 |
| 1.3.4.1 石英玻璃微细铣削加工 | 第14页 |
| 1.3.4.2 石英玻璃超声振动辅助铣削加工 | 第14-15页 |
| 1.4 石英玻璃超声振动辅助微铣削研究意义 | 第15-16页 |
| 1.5 本课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 超声振动辅助微铣削石英玻璃装置设计 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 超声加工工艺特点 | 第17-22页 |
| 2.3 超声振动加工技术的应用 | 第22-23页 |
| 2.3.1 超生振动加工技术的应用范围 | 第22-23页 |
| 2.3.2 超声应用的新方向 | 第23页 |
| 2.4 超声振动系统的设计 | 第23-28页 |
| 2.4.1 超声振动系统 | 第24-26页 |
| 2.4.2 超声振动辅助振动铣削系统整体性能分析 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 超声振动辅助微铣削石英玻璃铣削力研究 | 第29-59页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 超声微铣削石英玻璃实验平台的建立 | 第29-34页 |
| 3.2.1 实验平台建立的要求 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验设备简介 | 第30-34页 |
| 3.3 超声振动微铣削石英玻璃实验方案 | 第34-37页 |
| 3.3.1 工件材料 | 第34-35页 |
| 3.3.2 实验方案制定方法的选择 | 第35页 |
| 3.3.3 超声振动辅助微铣削石英玻璃正交实验方案 | 第35-37页 |
| 3.4 超声振动微铣削实验结果分析 | 第37-58页 |
| 3.4.1 铣削力分析 | 第37-38页 |
| 3.4.2 测得铣削力的两种分析方法 | 第38-39页 |
| 3.4.3 两种铣削方式下测力仪测得铣削力的波形分析 | 第39-41页 |
| 3.4.4 铣削力直观分析 | 第41-46页 |
| 3.4.5 各个加工因素对铣削力分力的影响 | 第46-50页 |
| 3.4.6 各个加工因素对铣削力合力的影响 | 第50-55页 |
| 3.4.7 铣削力方差分析 | 第55-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 超声振动辅助微铣削加工质量及切屑研究 | 第59-73页 |
| 4.1 引言 | 第59-60页 |
| 4.2 石英玻璃塑性域简介 | 第60-62页 |
| 4.2.1 金刚石压印实验 | 第60-61页 |
| 4.2.2 临界切削厚度 | 第61-62页 |
| 4.3 铣削加工石英玻璃表面质量及切屑研究 | 第62-72页 |
| 4.3.1 超声振动辅助微铣削工件表面质量及切屑 | 第62-67页 |
| 4.3.2 常规铣削工件表面质量及切屑 | 第67-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 总结和展望 | 第73-77页 |
| 5.1 总结 | 第73-74页 |
| 5.2 展望 | 第74-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第83页 |
