高效多晶硅铸锭工艺优化研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 前言 | 第10-12页 |
| 1.2 太阳能光电发展概述 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外多晶硅铸锭研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 多晶硅定向凝固制备方法 | 第15-19页 |
| 1.4.1 定向凝固系统方法 | 第16-17页 |
| 1.4.2 浇铸法 | 第17页 |
| 1.4.3 布里奇曼法 | 第17-18页 |
| 1.4.4 热交换法 | 第18-19页 |
| 1.4.5 电磁铸造法 | 第19页 |
| 1.5 多晶硅锭中存在问题研究 | 第19-22页 |
| 1.5.1 铸造多晶硅中杂质的研究 | 第20-21页 |
| 1.5.2 铸造多晶硅中缺陷的研究 | 第21-22页 |
| 1.6 本文拟解决问题及主要内容 | 第22-24页 |
| 1.6.1 拟解决问题 | 第22-23页 |
| 1.6.2 论文主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 试验原理与试验方法 | 第24-36页 |
| 2.1 定向凝固理论基础 | 第24-32页 |
| 2.1.1 铸锭炉内部传热机理 | 第24-25页 |
| 2.1.2 晶体学生长理论 | 第25-28页 |
| 2.1.3 晶体生长界面的研究 | 第28-30页 |
| 2.1.4 杂质去除的基本原理 | 第30-32页 |
| 2.2 试验方法 | 第32-36页 |
| 2.2.1 试验设备及仪器 | 第32-33页 |
| 2.2.2 试验方案 | 第33-36页 |
| 第三章 隔热笼开度对高效多晶硅定向凝固的研究 | 第36-44页 |
| 3.1 概述 | 第36页 |
| 3.2 试验方法 | 第36-39页 |
| 3.3 试验结果分析与讨论 | 第39-42页 |
| 3.3.1 籽晶层厚度的测试 | 第39-40页 |
| 3.3.2 少子寿命图谱分析 | 第40-41页 |
| 3.3.3 红外探伤仪测试结果分析 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 隔热笼提升速度对高效多晶硅定向凝固的研究 | 第44-52页 |
| 4.1 概述 | 第44页 |
| 4.2 试验方法 | 第44-45页 |
| 4.3 试验结果分析与讨论 | 第45-51页 |
| 4.3.1 少子寿命结果分析 | 第45-48页 |
| 4.3.2 红外探伤检测结果分析 | 第48-50页 |
| 4.3.3 数值计算结果分析 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 论文总结与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 论文总结 | 第52页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |
