碳纳米管互连串扰特性研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪 论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 纳米级芯片互连的挑战 | 第11-19页 |
| 1.2.1 纳米级铜互连线的电阻率升高 | 第12-15页 |
| 1.2.2 纳米级铜互连线可靠性降低 | 第15-17页 |
| 1.2.3 纳米集成电路的热特性挑战 | 第17-19页 |
| 1.3 国内外研究现状和动态 | 第19页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 碳纳米管的结构、特性与制备 | 第21-36页 |
| 2.1 碳纳米管简介 | 第21-22页 |
| 2.2 基本理论 | 第22-24页 |
| 2.2.1 平均自由程 | 第22-23页 |
| 2.2.2 弹道输运基本理论 | 第23-24页 |
| 2.3 碳纳米管的结构 | 第24-29页 |
| 2.3.1 单壁碳纳米管 | 第24-26页 |
| 2.3.2 多壁碳纳米管 | 第26-27页 |
| 2.3.3 双壁碳纳米管 | 第27-28页 |
| 2.3.4 石墨层(graphene) | 第28-29页 |
| 2.4 碳纳米管的电、热特性与制备 | 第29-36页 |
| 2.4.1 能带结构 | 第29-30页 |
| 2.4.2 电、热稳定性 | 第30-31页 |
| 2.4.3 碳纳米管的制备工艺与挑战 | 第31-36页 |
| 第三章 碳纳米管互连线 | 第36-47页 |
| 3.1 单壁碳纳米管 | 第36-46页 |
| 3.1.1 电阻模型 | 第36-39页 |
| 3.1.2 电容模型 | 第39-42页 |
| 3.1.3 电感模型 | 第42-46页 |
| 3.2 双壁碳纳米管 | 第46-47页 |
| 3.2.1 电阻模型 | 第46页 |
| 3.2.2 电容模型 | 第46-47页 |
| 第四章 碳纳米管束互连线 | 第47-74页 |
| 4.1 单壁碳纳米管束 | 第47-52页 |
| 4.1.1 电阻模型 | 第47-48页 |
| 4.1.2 电容模型 | 第48-49页 |
| 4.1.3 电感模型 | 第49-51页 |
| 4.1.4 单壁碳纳米管束电路模型 | 第51-52页 |
| 4.2 双壁碳纳米管束 | 第52-54页 |
| 4.2.1 电阻模型 | 第52-53页 |
| 4.2.2 电容模型 | 第53页 |
| 4.2.3 双壁碳纳米管束电路模型 | 第53-54页 |
| 4.3 铜互连模型 | 第54-56页 |
| 4.4 碳纳米管束互连线串扰模型 | 第56-60页 |
| 4.5 碳纳米管束互连线延时性能比较 | 第60-72页 |
| 4.5.1 全局层互连线 | 第61-65页 |
| 4.5.2 中间层互连线 | 第65-68页 |
| 4.5.3 本地层互连线 | 第68-72页 |
| 4.6 碳纳米管束互连线抖动性能比较 | 第72-73页 |
| 4.7 碳纳米管束互连线中互电感的影响 | 第73-74页 |
| 第五章 研究总结与未来展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读学位期间发表和撰写的学术论文 | 第86-89页 |
| 上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 | 第89页 |
