| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-16页 |
| 1.1 铁电薄膜材料的性质 | 第10-11页 |
| 1.2 铁电体及铁电薄膜材料的研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 BiFeO_3材料简介 | 第12-14页 |
| 1.3.1 BiFeO_3概述 | 第12-13页 |
| 1.3.2 BiFeO_3的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本论文的主要内容和意义 | 第14-16页 |
| 第2章 BiFeO_3薄膜的制备方法与工艺原理 | 第16-20页 |
| 2.1 BiFeO_3薄膜的制备方法 | 第16-17页 |
| 2.2 薄膜的表征 | 第17-20页 |
| 2.2.1 薄膜微观结构表征 | 第17-18页 |
| 2.2.2 薄膜铁电性能的测量 | 第18页 |
| 2.2.3 薄膜的表面形貌分析 | 第18-20页 |
| 第3章 多晶BiFeO_3薄膜的制备与性能分析 | 第20-25页 |
| 3.1 BiFeO_3薄膜的微观结构分析 | 第20-22页 |
| 3.2 BiFeO_3薄膜电学性能研究 | 第22-24页 |
| 3.3 小结 | 第24-25页 |
| 第4章 外延BiFeO_3薄膜的制备与性能分析 | 第25-35页 |
| 4.1 外延BiFeO_3薄膜的制备 | 第25-28页 |
| 4.1.1 SrRuO_3底电极的制备 | 第25-26页 |
| 4.1.2 BiFeO_3薄膜的制备 | 第26-28页 |
| 4.2 不同顶电极材料对BFO薄膜电容器铁电性能的影响 | 第28-31页 |
| 4.3 SRO/BFO/SRO异质结铁电性能研究 | 第31-34页 |
| 4.4 小结 | 第34-35页 |
| 第5章 外延BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的结构和性能研究 | 第35-39页 |
| 5.1 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的制备 | 第35页 |
| 5.2 沉积温度对BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜结构的影响 | 第35-36页 |
| 5.3 沉积温度对BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜电学性能的影响 | 第36-38页 |
| 5.4 小结 | 第38-39页 |
| 第6章 氢阻碍机制对铁电性能的影响 | 第39-45页 |
| 6.1 理论模型和计算方法 | 第39-41页 |
| 6.2 氢阻碍Bi_4Ti_3O_(12)铁电性退化理论研究 | 第41-44页 |
| 6.3 小结 | 第44-45页 |
| 结束语 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第52页 |
