| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及测量方案讨论 | 第9-13页 |
| 1.1.1 课题背景分析 | 第9-11页 |
| 1.1.2 位移测量方案讨论 | 第11-13页 |
| 1.2 涡流检测的发展历史及研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.1 涡流检测的发展历史 | 第13-14页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第14页 |
| 1.2.3 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文研究意义及主要工作 | 第15-18页 |
| 1.3.1 本文研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3.2 本文主要工作 | 第16-18页 |
| 2 涡流传感器基本工作原理及仿真分析 | 第18-31页 |
| 2.1 涡流传感器基本工作原理 | 第18-20页 |
| 2.2 涡流传感器等效电路分析 | 第20-21页 |
| 2.3 涡流传感器建模及仿真分析 | 第21-30页 |
| 2.3.1 涡流传感器有限元仿真的理论基础 | 第21-22页 |
| 2.3.2 ANSYS Maxwell环境设置及传感器建模 | 第22-24页 |
| 2.3.3 线圈尺寸对涡流传感器的影响分析 | 第24-26页 |
| 2.3.4 激励频率对涡流传感器的影响分析 | 第26-28页 |
| 2.3.5 被测材料属性对涡流传感器的影响分析 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 倾角对涡流传感器位移测量精度的影响规律分析 | 第31-42页 |
| 3.1 倾角分析模型 | 第31-32页 |
| 3.2 倾角模型有限元仿真分析 | 第32-39页 |
| 3.2.1 倾角模型的仿真建模及涡流分布 | 第32-33页 |
| 3.2.2 不同倾角下线圈等效阻抗随提离高度的变化规律 | 第33-35页 |
| 3.2.3 固定提离高度下线圈等效阻抗随倾角的变化规律 | 第35-38页 |
| 3.2.4 不同激励频率下倾角的影响规律分析 | 第38-39页 |
| 3.3 平均位移误差随倾角的变化规律 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 耦合干扰对涡流传感器位移测量精度的影响规律分析 | 第42-52页 |
| 4.1 耦合干扰分析模型 | 第42-43页 |
| 4.2 耦合影响下的等效电路修正 | 第43-45页 |
| 4.3 耦合模型有限元仿真分析 | 第45-51页 |
| 4.3.1 耦合模型的仿真建模及涡流分布 | 第45-46页 |
| 4.3.2 线圈互感随传感器间距和提离高度的变化规律 | 第46-47页 |
| 4.3.3 同一提离高度下线圈互感随间距的变化规律 | 第47-48页 |
| 4.3.4 同一间距下线圈互感随提离高度的变化规律 | 第48-49页 |
| 4.3.5 不同激励频率下线圈互感的变化规律分析 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 涡流位移测量实验研究及误差补偿 | 第52-66页 |
| 5.1 倾角实验研究及测量误差补偿 | 第52-57页 |
| 5.1.1 倾角实验平台介绍 | 第52-53页 |
| 5.1.2 不同倾角下传感器测量值与提离高度的关系 | 第53-54页 |
| 5.1.3 平均测量误差随倾角的变化规律 | 第54-56页 |
| 5.1.4 基于高斯函数的测量误差补偿 | 第56-57页 |
| 5.2 耦合实验研究及测量误差补偿 | 第57-64页 |
| 5.2.1 耦合实验平台介绍 | 第58页 |
| 5.2.2 涡流传感器量程衰减百分比随间距的变化规律 | 第58-61页 |
| 5.2.3 固定间距下测量误差随提离高度的变化规律 | 第61-62页 |
| 5.2.4 基于高次多项式拟合的测量误差补偿 | 第62-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录A 镜像加工平台及支撑末端集成装置 | 第71-72页 |
| 附录B LabVIEW数据采集程序 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
