| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| TABLE OF CONTENTS | 第12-15页 |
| 图目录 | 第15-17页 |
| 表目录 | 第17-18页 |
| 1 绪论 | 第18-36页 |
| 1.1 引言 | 第18-20页 |
| 1.2 固体表面疏水理论基础 | 第20-22页 |
| 1.3 超疏水表面研究现状 | 第22-27页 |
| 1.3.1 超疏水性能影响因素 | 第22-25页 |
| 1.3.2 超疏水表面制备方法 | 第25-26页 |
| 1.3.3 超疏水表面研究中的问题 | 第26-27页 |
| 1.4 纳米复合硬质薄膜研究现状 | 第27-34页 |
| 1.4.1 纳米复合硬质薄膜的分类 | 第27-31页 |
| 1.4.2 纳米复合硬质薄膜的硬化机理 | 第31-34页 |
| 1.4.3 纳米复合硬质薄膜研究中的问题 | 第34页 |
| 1.5 本论文研究意义及研究内容 | 第34-36页 |
| 2 实验设备和表征方法 | 第36-45页 |
| 2.1 实验设备及实验方法 | 第36-39页 |
| 2.1.1 脉冲偏压电弧离子镀 | 第36-38页 |
| 2.1.2 皮秒激光微加工系统 | 第38-39页 |
| 2.1.3 实验方法 | 第39页 |
| 2.2 薄膜表征方法 | 第39-45页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第39-40页 |
| 2.2.2 扫描电镜(SEM) | 第40页 |
| 2.2.3 原子力显微镜(AFM) | 第40-41页 |
| 2.2.4 透射电镜(TEM) | 第41页 |
| 2.2.5 X射线光电子能谱(XPS) | 第41-42页 |
| 2.2.6 拉曼光谱(Raman) | 第42页 |
| 2.2.7 纳米压痕(Nanoindentation) | 第42-43页 |
| 2.2.8 摩擦磨损试验 | 第43-44页 |
| 2.2.9 划痕测试 | 第44页 |
| 2.2.10 接触角测量 | 第44-45页 |
| 3 TiN/a-C复合薄膜的制备及性能研究 | 第45-68页 |
| 3.1 引言 | 第45-46页 |
| 3.2 不同偏压下制备TiN/a-C复合薄膜 | 第46-54页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第46-47页 |
| 3.2.2 薄膜成分及表面形貌 | 第47-48页 |
| 3.2.3 薄膜结构分析 | 第48-51页 |
| 3.2.4 薄膜的力学性能 | 第51-53页 |
| 3.2.5 薄膜的疏水性能 | 第53-54页 |
| 3.3 不同弧流下制备TiN/a-C薄膜 | 第54-67页 |
| 3.3.1 薄膜制备 | 第54-55页 |
| 3.3.2 薄膜成分及表面形貌 | 第55-57页 |
| 3.3.3 薄膜结构分析 | 第57-61页 |
| 3.3.4 薄膜的力学性能 | 第61-65页 |
| 3.3.5 薄膜的热稳定性 | 第65-66页 |
| 3.3.6 薄膜的疏水性能 | 第66-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 4 TiC/a-C(Cu)复合薄膜的制备及性能研究 | 第68-82页 |
| 4.1 引言 | 第68-69页 |
| 4.2 TiC/a-C复合薄膜研究 | 第69-74页 |
| 4.2.1 TiC/a-C薄膜制备 | 第69页 |
| 4.2.2 TiC/a-C薄膜结构 | 第69-72页 |
| 4.2.3 TiC/a-C薄膜的力学性能 | 第72-74页 |
| 4.2.4 TiC/a-C薄膜的疏水性能 | 第74页 |
| 4.3 TiC/a-C(Cu)复合薄膜研究 | 第74-81页 |
| 4.3.1 TiC/a-C(Cu)薄膜制备 | 第74-75页 |
| 4.3.2 TiC/a-C(Cu)薄膜成分及形貌 | 第75-76页 |
| 4.3.3 TiC/a-C(Cu)薄膜结构 | 第76-78页 |
| 4.3.4 TiC/a-C(Cu)薄膜的力学性能 | 第78-80页 |
| 4.3.5 TiC/a-C(Cu)薄膜的疏水性能 | 第80-81页 |
| 4.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 5 TiN/Cu复合薄膜的制备及性能研究 | 第82-98页 |
| 5.1 引言 | 第82页 |
| 5.2 TiN/Cu薄膜制备 | 第82-83页 |
| 5.3 TiN/Cu薄膜成分及形貌 | 第83-87页 |
| 5.4 TiN/Cu薄膜结构 | 第87-90页 |
| 5.5 TiN/Cu薄膜的力学性能 | 第90-94页 |
| 5.6 TiN/Cu薄膜的热稳定性及硬度讨论 | 第94-96页 |
| 5.7 TiN/Cu薄膜的疏水性能 | 第96-97页 |
| 5.8 本章小结 | 第97-98页 |
| 6 激光诱导纳米复合薄膜疏水改性研究 | 第98-109页 |
| 6.1 引言 | 第98-99页 |
| 6.2 皮秒激光诱导金属表面微纳米结构 | 第99-100页 |
| 6.2.1 激光与金属的相互作用 | 第99页 |
| 6.2.2 皮秒激光诱导钢表面乳突结构 | 第99-100页 |
| 6.3 纳米复合薄膜表面构建方阵列微结构 | 第100-108页 |
| 6.3.1 表面形貌分析 | 第101-103页 |
| 6.3.2 疏水性能分析 | 第103-106页 |
| 6.3.3 耐磨性能分析 | 第106-108页 |
| 6.4 本章小结 | 第108-109页 |
| 7 结论与展望 | 第109-112页 |
| 7.1 结论 | 第109-111页 |
| 7.2 创新点 | 第111页 |
| 7.3 展望 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-120页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 作者简介 | 第123页 |