白光干涉原子力显微镜若干关键技术及软件系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外概况及发展趋势 | 第10-12页 |
| 1.4 白光干涉原子力显微镜测量原理 | 第12-15页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 白光干涉原子力显微镜若干关键技术 | 第16-41页 |
| 2.1 白光干涉原子力显微镜中零级条纹提取算法 | 第16-30页 |
| 2.2 原子力探针标定方法研究 | 第30-36页 |
| 2.3 原子力探针自动接触控制 | 第36-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 3 软件系统设计 | 第41-48页 |
| 3.1 软件系统框架设计及界面 | 第41-43页 |
| 3.2 软件系统实现方法与功能模块 | 第43-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 系统测试与应用实验 | 第48-68页 |
| 4.1 运行参数测试 | 第48-54页 |
| 4.2 系统精度测试 | 第54-61页 |
| 4.3 三维测试及应用 | 第61-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 总结 | 第68-69页 |
| 5.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间成果 | 第75页 |
