基于移相干涉的光学元件位相缺陷检测技术的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景、目的及意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 空间滤波法 | 第9-11页 |
| 1.2.2 数字全息法 | 第11-12页 |
| 1.2.3 移相干涉法 | 第12-14页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 总体方案设计 | 第16-25页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 方案流程图 | 第16页 |
| 2.3 测量原理 | 第16-18页 |
| 2.4 移相实现方案确定 | 第18-21页 |
| 2.4.1. 移相原理选择 | 第18-20页 |
| 2.4.2. 移相器调制方式 | 第20-21页 |
| 2.5 关键器件选型分析 | 第21-24页 |
| 2.5.1. 移相器选型分析 | 第21页 |
| 2.5.2. 激光器选型分析 | 第21-23页 |
| 2.5.3. CCD选型分析 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 位相提取算法 | 第25-37页 |
| 3.1. 引言 | 第25页 |
| 3.2. 移相算法现状 | 第25-26页 |
| 3.3. 13帧定步长算法 | 第26-28页 |
| 3.4. 迭代随机移相算法 | 第28-33页 |
| 3.5. 算法仿真 | 第33-36页 |
| 3.6. 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 位相数据解包裹及拟合校正 | 第37-50页 |
| 4.1. 引言 | 第37页 |
| 4.2. 位相解包裹 | 第37-46页 |
| 4.2.1. 迭代法 | 第40页 |
| 4.2.2. 快速傅里叶变换法 | 第40-41页 |
| 4.2.3. 离散余弦变换法 | 第41-42页 |
| 4.2.4. 横向剪切干涉法 | 第42-43页 |
| 4.2.5. 解包裹算法比较仿真 | 第43-46页 |
| 4.3. 系统误差消除 | 第46-49页 |
| 4.3.1. 几何结构误差 | 第47页 |
| 4.3.2. Zernike多项式 | 第47-49页 |
| 4.3.3. 误差去除 | 第49页 |
| 4.4. 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 实验及数据分析 | 第50-64页 |
| 5.1. 引言 | 第50页 |
| 5.2. 激光器性能实验 | 第50-55页 |
| 5.3. 位相缺陷检测系统实验装置 | 第55-56页 |
| 5.4. 实验测量结果 | 第56-62页 |
| 5.5. 本章小结 | 第62-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
