| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 本文研究背景和意义 | 第7-9页 |
| 1.2 国内外微位移工作台的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 柔性支承形式压电陶瓷驱动的微位移工作台 | 第9-11页 |
| 1.2.2 超磁致伸缩微位移工作台 | 第11-12页 |
| 1.2.3 其它形式的微位移工作台 | 第12-13页 |
| 1.3 本文研究的内容 | 第13-14页 |
| 第二章 微位移角振动台及柔性铰链的设计分析 | 第14-40页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 微位移角振动系统的组成 | 第14-23页 |
| 2.2.1 概述 | 第14页 |
| 2.2.2 微位移驱动器及其优缺点 | 第14-18页 |
| 2.2.3 导轨形式及其特点 | 第18-20页 |
| 2.2.4 检测装置 | 第20-21页 |
| 2.2.5 控制系统 | 第21-23页 |
| 2.3 柔性铰链设计 | 第23-28页 |
| 2.3.1 概述 | 第23-24页 |
| 2.3.2 柔性铰链的力学模型 | 第24-25页 |
| 2.3.3 柔性铰链参数设计分析 | 第25-28页 |
| 2.4 基于ANSYS Workbench柔性铰链的有限元分析 | 第28-39页 |
| 2.4.1 基于ANSYS Workbench静力学分析 | 第28-30页 |
| 2.4.2 基于ANSYS Workbench动力学分析 | 第30-33页 |
| 2.4.3 柔性铰链的谐响应分析 | 第33-38页 |
| 2.4.4 柔性铰链的疲劳寿命及可靠分析 | 第38-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动电源设计 | 第40-48页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 压电陶瓷驱动电源的特点 | 第40页 |
| 3.3 压电陶瓷驱动电源的原理 | 第40-42页 |
| 3.4 直流放大式驱动电路设计 | 第42-45页 |
| 3.4.1 工作原理 | 第42页 |
| 3.4.2 高压稳定电路 | 第42-43页 |
| 3.4.3 放大电路 | 第43-44页 |
| 3.4.4 放电回路 | 第44-45页 |
| 3.5 压电陶瓷驱动电源的性能测试和实验分析 | 第45-47页 |
| 3.5.1 线性度 | 第45页 |
| 3.5.2 分辨率 | 第45-46页 |
| 3.5.3 输出电压波纹 | 第46页 |
| 3.5.4 电源的阶跃响应特性 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微位移角振动台精密定位控制研究 | 第48-59页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 微位移角振动台的开环定位控制研究 | 第48-50页 |
| 4.2.1 概述 | 第48页 |
| 4.2.2 基于ILC方法下的开环定位控制 | 第48-49页 |
| 4.2.3 基于Preisach模型的开环定位控制 | 第49-50页 |
| 4.3 微位移角振动台的闭环定位控制研究 | 第50-56页 |
| 4.3.1 概述 | 第50-51页 |
| 4.3.2 PID控制算法理论 | 第51-53页 |
| 4.3.3 PID控制在闭环定位控制中的应用 | 第53-56页 |
| 4.4 激光测距仪检测低频下微位移角振动台的精度 | 第56-58页 |
| 4.4.1 概述 | 第56页 |
| 4.4.2 实验 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 5.1 总结 | 第59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
