| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 高纯铜锰互连线 | 第9-14页 |
| 1.2.1 高纯铜互连线的优缺点 | 第9-10页 |
| 1.2.2 合金化的提出 | 第10-12页 |
| 1.2.3 高纯铜互连线的制备工艺 | 第12-14页 |
| 1.3 高纯铜薄膜溅射靶材 | 第14-15页 |
| 1.3.1 高纯铜薄膜溅射靶材的结构性能 | 第14页 |
| 1.3.2 超高纯铜及合金靶材的制备及加工工艺 | 第14-15页 |
| 1.4 铜和铜合金的再结晶概述 | 第15-18页 |
| 1.4.1 再结晶定义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 再结晶动力学 | 第16-17页 |
| 1.4.3 退火孪晶 | 第17-18页 |
| 1.5 铜和铜合金的织构 | 第18-23页 |
| 1.5.1 织构的定义 | 第18页 |
| 1.5.2 纯铜和铜合金的变形织构 | 第18-22页 |
| 1.5.3 再结晶织构 | 第22-23页 |
| 1.6 课题研究意义和内容 | 第23-24页 |
| 1.6.1 研究意义 | 第23页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第23-24页 |
| 2 试验材料及方法 | 第24-30页 |
| 2.1 实验准备 | 第24-25页 |
| 2.1.1 试验材料 | 第24页 |
| 2.1.2 技术路线 | 第24-25页 |
| 2.2 轧制实验 | 第25-26页 |
| 2.3 退火制度 | 第26-27页 |
| 2.4 研究方法 | 第27-28页 |
| 2.4.1 微观组织 | 第27页 |
| 2.4.2 X射线衍射(XRD) | 第27-28页 |
| 2.4.3 电子背散射衍射(EBSD) | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 高纯铜锰合金轧板再结晶退火过程中的显微组织演变 | 第30-48页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 原始样品的组织和织构 | 第30-31页 |
| 3.3 中低变形量单向轧制高纯铜锰合金板材退火过程中的组织演变 | 第31-37页 |
| 3.3.1 单向轧制高纯铜锰合金板材的微观组织特征 | 第31-33页 |
| 3.3.2 单向轧制高纯铜锰合金板材等温退火过程中的微观组织演变 | 第33-37页 |
| 3.4 不同轧制方式大变形量下的高纯铜锰合金板材退火过程中组织演变 | 第37-46页 |
| 3.4.1 单向轧制和交叉轧制 95%冷轧试样变形组织 | 第37-38页 |
| 3.4.2 单向轧制和交叉轧制 95%冷轧试样等温退火过程中的组织演变 | 第38-41页 |
| 3.4.3 单向轧制和交叉轧制 95%冷轧试样不同温度退火过程中的组织演变 | 第41-46页 |
| 3.5 本章小节 | 第46-48页 |
| 4 高纯铜锰合金轧板再结晶退火过程中的织构演变 | 第48-82页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 单向轧制 50%和 77%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第48-54页 |
| 4.2.1 单向轧制 50%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第48-51页 |
| 4.2.2 单向轧制 77%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第51-54页 |
| 4.3 不同轧制方式 95%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第54-63页 |
| 4.3.1 单向轧制 95%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第54-58页 |
| 4.3.2 交叉轧制 95%压下率冷轧试样等温退火过程中的织构演变 | 第58-63页 |
| 4.4 不同轧制方式 95%压下率冷轧试样不同温度退火过程中的织构演变 | 第63-80页 |
| 4.4.1 单向轧制 95%压下率冷轧试样不同温度退火过程中的织构演变 | 第63-70页 |
| 4.4.2 交叉轧制 95%压下率冷轧试样不同温度退火过程中的织构演变 | 第70-80页 |
| 4.5 本章小节 | 第80-82页 |
| 5 结论 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 附录 | 第92页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第92页 |
