| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO的结构和光电性能 | 第10-12页 |
| 1.3 缺陷 | 第12页 |
| 1.4 ZnO薄膜的应用 | 第12-14页 |
| 1.4.1 ZnO透明导电薄膜 | 第13页 |
| 1.4.2 发光器件 | 第13页 |
| 1.4.3 紫外探测器 | 第13页 |
| 1.4.4 太阳能电池 | 第13-14页 |
| 1.5 掺杂ZnO的研究进展 | 第14-15页 |
| 1.5.1 n型掺杂 | 第14页 |
| 1.5.2 p型掺杂 | 第14-15页 |
| 1.5.3 稀土掺杂 | 第15页 |
| 1.6 本文的研究意义及研究内容 | 第15-17页 |
| 2 薄膜的制备与表征方法 | 第17-25页 |
| 2.1 实验材料、设备与制备方法 | 第17-18页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第17页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第17-18页 |
| 2.2 薄膜的制备方法 | 第18-20页 |
| 2.2.1 溶胶凝胶法 | 第18-19页 |
| 2.2.2 磁控溅射法 | 第19页 |
| 2.2.3 化学气相沉积法（CVD） | 第19-20页 |
| 2.2.4 分子束外延（MBE） | 第20页 |
| 2.3 表征技术 | 第20-25页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第20-21页 |
| 2.3.2 原子力显微镜 | 第21页 |
| 2.3.3 X射线衍射分析[34] | 第21-22页 |
| 2.3.4 紫外-可见光吸收谱 | 第22-23页 |
| 2.3.5 霍尔测试 | 第23-24页 |
| 2.3.6 光致发光谱（PL） | 第24页 |
| 2.3.7 X射线光电子能谱 | 第24-25页 |
| 3 Er掺杂对溶胶凝胶法制备的ZnO的结构、光学性能和缺陷的影响 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 样品的制备和表征 | 第25-26页 |
| 3.3 结果和讨论 | 第26-35页 |
| 3.3.1 Er掺杂对ZnO薄膜结构的影响 | 第26-27页 |
| 3.3.2 Er掺杂对ZnO薄膜形貌的影响 | 第27-29页 |
| 3.3.3 Er掺杂对ZnO薄膜成分的影响 | 第29-31页 |
| 3.3.4 Er掺杂对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第31-33页 |
| 3.3.5 Er掺杂对ZnO薄膜光致发光的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.6 Er掺杂对ZnO薄膜内部缺陷的影响 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 B掺杂对磁控溅射法制备的ZnO薄膜结构、光电性能和缺陷的影响 | 第36-47页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 样品的制备和表征 | 第36-37页 |
| 4.3 结果和讨论 | 第37-46页 |
| 4.3.1 B掺杂对ZnO薄膜结构的影响 | 第37-38页 |
| 4.3.2 B掺杂对ZnO薄膜形貌的影响 | 第38-40页 |
| 4.3.3 B掺杂对ZnO薄膜电学性能的影响 | 第40-41页 |
| 4.3.4 B掺杂对ZnO薄膜光学性能的影响，应力与光学带隙的关系 | 第41-43页 |
| 4.3.5 B掺杂对ZnO薄膜成分的影响 | 第43-44页 |
| 4.3.6 B掺杂对ZnO薄膜光致发光的影响 | 第44-45页 |
| 4.3.7 B掺杂对ZnO薄膜缺陷及导电性的影响 | 第45-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 结论与展望 | 第47-49页 |
| 5.1 主要结论 | 第47页 |
| 5.2 本文创新点 | 第47-48页 |
| 5.3 后续工作展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-59页 |
| 附录 | 第59页 |
| A. 作者在攻读硕士期间发表的论文目录 | 第59页 |
| B. 作者在攻读硕士期间参与的科研项目 | 第59页 |
