| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 聚合物平板微器件的应用 | 第10-13页 |
| 1.2 平板微器件的成型方法 | 第13-16页 |
| 1.3 微注塑模具的加工方法 | 第16-17页 |
| 1.4 注塑微制件平面度影响因素 | 第17-18页 |
| 1.5 本文主要内容 | 第18-20页 |
| 2 微注塑模具设计及注塑工艺参数影响研究 | 第20-33页 |
| 2.1 微注塑模具结构设计 | 第20-29页 |
| 2.1.1 模具总体结构 | 第21页 |
| 2.1.2 微镶件及装配方式设计 | 第21-22页 |
| 2.1.3 浇注系统设计 | 第22-26页 |
| 2.1.4 顶出机构设计 | 第26-27页 |
| 2.1.5 模温控制系统 | 第27-29页 |
| 2.2 微注塑成型工艺参数影响研究 | 第29-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 视觉对准的铣削整形 | 第33-42页 |
| 3.1 基于视觉对准的铣削整形流程 | 第34-38页 |
| 3.2 铣削整形结果分析 | 第38-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 热压整平的数值模拟和实验结果分析 | 第42-52页 |
| 4.1 热压整平数值模拟 | 第42-47页 |
| 4.2 热压整平实验结果分析 | 第47-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 5 器件流量性能测试 | 第52-60页 |
| 5.1 微流控芯片流量测试实验 | 第52-59页 |
| 5.1.1 高压直流电源驱动的蠕变进样芯片流量测试 | 第54-55页 |
| 5.1.2 芯片控制器驱动的蠕变进样芯片流量测试 | 第55-59页 |
| 5.2 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |