TiCN、TiVN薄膜的微结构、力学性能及摩擦磨损性能的研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 薄膜的生长方式 | 第15-16页 |
| 1.3 纳米复合膜 | 第16-18页 |
| 1.3.1 纳米复合膜的分类及研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 纳米复合膜的制备方法 | 第17页 |
| 1.3.3 复合膜的致硬机理 | 第17-18页 |
| 1.4 摩擦与磨损 | 第18-22页 |
| 1.4.1 摩擦理论 | 第18-19页 |
| 1.4.2 影响摩擦的因素 | 第19-21页 |
| 1.4.3 磨损 | 第21-22页 |
| 1.4.4 摩擦磨损过程 | 第22页 |
| 1.5 选题的意义和研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第22-23页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第24-30页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 薄膜的制备原理与设备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 薄膜制备的基本原理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 薄膜的制备设备 | 第25-26页 |
| 2.3 薄膜的表征方法与检测设备 | 第26-30页 |
| 2.3.1 X射线衍射（XRD） | 第26页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第26-27页 |
| 2.3.3 能量色散谱仪（EDS） | 第27页 |
| 2.3.4 纳米力学综合测试系统 | 第27-28页 |
| 2.3.5 摩擦磨损试验机 | 第28-29页 |
| 2.3.6 三维轮廓形貌仪 | 第29-30页 |
| 第3章 TiCN纳米复合膜的制备及性能研究 | 第30-51页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 薄膜制备及表征 | 第30-33页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第30-32页 |
| 3.2.2 薄膜表征 | 第32-33页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第33-49页 |
| 3.3.1 成分及微结构 | 第33-36页 |
| 3.3.2 TiCN复合膜的力学性能 | 第36-43页 |
| 3.3.3 TiCN复合膜的摩擦磨损性能 | 第43-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 TiVN纳米复合膜的制备及性能研究 | 第51-73页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 薄膜制备及表征 | 第51-53页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第51-52页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第52-53页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第53-71页 |
| 4.3.1 成分及微结构 | 第53-56页 |
| 4.3.2 TiVN复合膜的力学性能 | 第56-61页 |
| 4.3.3 TiVN复合膜的摩擦磨损性能 | 第61-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
