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NiFe/FeMn交换偏置多层膜的高频性能研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
1 绪论第9-22页
    1.1 高频薄膜的研究背景第9-13页
        1.1.1 高频材料的发展第9-11页
        1.1.2 高频薄膜国内外研究现状第11-13页
    1.2 薄膜的高频磁性理论第13-15页
        1.2.1 动态磁性理论第13-14页
        1.2.2 磁各向异性第14-15页
    1.3 交换偏置效应第15-19页
        1.3.1 交换偏置效应机理模型第16-17页
        1.3.2 交换偏置的影响因素第17-18页
        1.3.3 交换偏置的测量方法第18-19页
    1.4 课题来源及研究内容第19-22页
        1.4.1 课题来源第19页
        1.4.2 论文立意及研究内容第19-22页
2 交换偏置薄膜的制备及性能表征第22-31页
    2.1 薄膜的制备第22-24页
        2.1.1 磁控溅射原理第22-23页
        2.1.2 实验设备第23-24页
    2.2 样品的表征方法第24-31页
        2.2.1 X射线衍射分析(XRD)第24-25页
        2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)第25页
        2.2.3 台阶仪第25-26页
        2.2.4 振动样品磁样计(VSM)第26-27页
        2.2.5 矢量网络分析仪(VNA)第27-29页
        2.2.6 薄膜各向异性磁电阻测量仪第29-31页
3 NiFe/FeMn交换偏置双层膜的制备及表征第31-40页
    3.1 NiFe/FeMn交换偏置薄膜的制备第31页
    3.2 NiFe/FeMn交换偏置薄膜的表征第31-39页
        3.2.1 薄膜成分分析第31-32页
        3.2.2 薄膜物相分析第32-33页
        3.2.3 薄膜静态磁性分析第33-35页
        3.2.4 薄膜动态磁性分析第35-39页
    3.3 本章小结第39-40页
4 NiFe/FeMn交换偏置多周期薄膜的研究第40-46页
    4.1 Ta/[ NiFe/FeMn]_2Ta交换偏置薄膜第40-42页
        4.1.1 薄膜静态磁性分析第40-41页
        4.1.2 薄膜动态态磁性分析第41-42页
    4.2 薄膜高频性能总结第42-43页
    4.3 Ta/[ NiFe/FeMn]_nTa交换偏置薄膜第43-45页
    4.4 本章小结第45-46页
5 NiFe/FeMn交换偏置双层膜的各向异性磁电阻研究第46-55页
    5.1 各向异性磁电阻的测量原理第46-47页
    5.2 各向异性磁电阻的测量第47-50页
    5.3 交换偏置薄膜磁矩转动与外加磁场的关系第50-52页
    5.4 利用各向异性磁电阻测量样品的交换偏置场第52-54页
        5.4.1 测量原理第52-53页
        5.4.2 AMR测量薄膜交换偏置场第53-54页
    5.5 本章小结第54-55页
结论第55-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-64页
在读期间已发表和待发表的论文第64页

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