| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·MEMS 开关技术研究现状 | 第10-11页 |
| ·表面接触理论研究现状 | 第11-13页 |
| ·MEMS 开关接触电阻和接触热研究现状 | 第13-15页 |
| ·MEMS 开关失效影响因素 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 MEMS 开关粗糙表面接触电阻研究 | 第17-38页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面与刚性平面的接触力学模型 | 第17-21页 |
| ·粗糙表面接触模型基本假设和理论基础 | 第17-18页 |
| ·粗糙表面与刚性平面接触力学模型 | 第18-21页 |
| ·MEMS 开关等效球体与刚性平面接触电阻模型 | 第21-22页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面接触电阻模型的建立 | 第22-26页 |
| ·单个粗糙峰与刚性平面的接触电阻模型建立 | 第24-25页 |
| ·粗糙表面与刚性平面的接触电阻模型建立 | 第25-26页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面接触电阻分析 | 第26-36页 |
| ·模型主要参数的确定 | 第26-28页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面与刚性平面接触电阻影响规律研究 | 第28-31页 |
| ·粗糙表面接触电阻模型与等效球体接触电阻模型对比 | 第31-34页 |
| ·粗糙表面接触电阻模型与实验数据对比 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 MEMS 开关粗糙表面接触热研究 | 第38-49页 |
| ·等效球体与刚性平面接触热模型 | 第38-40页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面与刚性平面接触热模型建立 | 第40-43页 |
| ·单个粗糙峰与刚性平面的接触热模型建立 | 第41-42页 |
| ·粗糙表面与刚性平面的接触热模型建立 | 第42-43页 |
| ·MEMS 开关粗糙表面接触热分析 | 第43-48页 |
| ·模型主要参数的确定 | 第43-44页 |
| ·粗糙表面与刚性平面接触热分析 | 第44-46页 |
| ·粗糙表面接触电阻模型与等效球体接触热模型对比 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 MEMS 开关多物理场耦合仿真分析 | 第49-62页 |
| ·MEMS 开关接触有限元模型的建立 | 第49-53页 |
| ·表面形貌的数值模型 | 第49-52页 |
| ·MEMS 开关接触有限元模型的建立 | 第52-53页 |
| ·MEMS 开关多物理场耦合有限元接触分析 | 第53-61页 |
| ·MEMS 开关有限元电接触分析 | 第53-58页 |
| ·MEMS 开关有限元热电接触分析 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 致谢 | 第69页 |