压电螺纹驱动器及其在微动台中应用的基础研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第1章 绪论	第7-31页
·压电陶瓷的发展历史与应用	第7-13页
·压电效应与逆压电效应	第7-8页
·压电材料的发展与分类	第8-10页
·压电材料的实际应用	第10-13页
·压电驱动器及其微动台的研究背景	第13-30页
·压电驱动器的特点	第14-18页
·压电驱动器的发展历史	第18-24页
·基于压电驱动器的微动台特点与典型设计	第24-30页
·课题主要研究内容	第30-31页
第2章 PZT压电陶瓷制备与性能	第31-37页
·高性能 PZT 压电陶瓷制备	第31-35页
·PZT 压电陶瓷粉体制备	第31-32页
·压电陶瓷片制备流程	第32-34页
·高性能 PZT 压电陶瓷片物理性能表征	第34-35页
·不同型号 PZT 压电陶瓷性能参数与应用	第35-37页
第3章 压电螺纹驱动器及其微动台的原理与设计	第37-53页
·压电螺纹驱动的设计与制造	第37-40页
·压电螺纹驱动器工作原理	第40-44页
·压电螺纹驱动器的有限元仿真与优化	第44-46页
·基于压电螺纹驱动器的一维微动台的设计	第46-48页
·基于压电螺纹驱动器的二维偏转台设计	第48-53页
第4章 实验结果及数据分析	第53-60页
·压电螺纹驱动器振动响应频谱分析	第53-54页
·压电螺纹驱动器性能参数测试	第54-57页
·一维直线微动台的性能测试	第57-58页
·二维偏转台性能测试	第58-60页
第5章 结论	第60-61页
参考文献	第61-65页
致谢	第65-67页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第67页