随机散射表面扫描白光干涉信号的蒙特卡罗模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·表面形貌的测量方法 | 第9-14页 |
| ·本论文的主要内容及结构 | 第14-15页 |
| 第二章 白光干涉检测原理 | 第15-23页 |
| ·干涉显微法原理 | 第15-18页 |
| ·相移干涉法 | 第16页 |
| ·扫描白光干涉法 | 第16-18页 |
| ·扫描白光干涉检测系统 | 第18-22页 |
| ·系统的光学参数 | 第19-21页 |
| ·PZT 扫描系统 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 随机表面扫描白光干涉效应 | 第23-34页 |
| ·随机粗糙表面的表征 | 第23-28页 |
| ·粗糙表面的形貌描述 | 第23-24页 |
| ·随机粗糙表面统计参量的描述 | 第24-27页 |
| ·随机粗糙表面的生成 | 第27-28页 |
| ·随机表面扫描白光干涉信号的影响因素 | 第28-33页 |
| ·光源谱宽 | 第29-30页 |
| ·系统噪声 | 第30-32页 |
| ·表面粗糙度 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 蒙特卡罗模拟基本原理 | 第34-38页 |
| ·蒙特卡罗方法的发展 | 第34页 |
| ·蒙特卡罗模拟的基本原理及步骤 | 第34-36页 |
| ·蒙特卡罗方法的特点 | 第36-37页 |
| ·本章总结 | 第37-38页 |
| 第五章 数值仿真及分析 | 第38-50页 |
| ·白光干涉蒙特卡罗模拟 | 第38-44页 |
| ·劈尖白光干涉蒙特卡罗模拟 | 第38-40页 |
| ·牛顿环白光干涉蒙特卡罗模拟 | 第40-42页 |
| ·随机表面白光干涉信号模拟 | 第42-44页 |
| ·表面白光干涉信号的影响因素 | 第44-49页 |
| ·光源光谱对白光干涉的影响 | 第44-45页 |
| ·噪声对白光干涉的影响 | 第45-48页 |
| ·表面粗糙度对白光干涉的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第50-52页 |
| ·全文工作总结 | 第50-51页 |
| ·后续工作的展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 科研工作情况说明 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
