| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·低辐射薄膜的种类 | 第12-16页 |
| ·TCO 薄膜 | 第12-15页 |
| ·电介质/金属/电介质多层复合薄膜 | 第15-16页 |
| ·低辐射薄膜的制备方法 | 第16-19页 |
| ·化学气相沉积法 | 第16-18页 |
| ·磁控溅射法 | 第18-19页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第19-21页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 低辐射薄膜的制备与表征手段 | 第22-36页 |
| ·FTO 低辐射薄膜的制备 | 第22-24页 |
| ·Ag 基低辐射薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·测试方法及表征手段 | 第25-35页 |
| ·场发射扫描电镜 | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜 | 第26页 |
| ·X 射线衍射仪 | 第26-29页 |
| ·紫外-可见光分光光度计 | 第29页 |
| ·综合物理性能测试系统 | 第29-30页 |
| ·X 光电子能谱仪 | 第30-32页 |
| ·俄歇电子能谱 | 第32页 |
| ·纳米压痕测试 | 第32-34页 |
| ·光致发光谱 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 FTO 薄膜在热处理过程中的温度和时间效应 | 第36-75页 |
| ·FTO 薄膜在后期热处理过程中的温度效应 | 第36-51页 |
| ·FTO 薄膜样品的制备及表征 | 第36页 |
| ·不同温度热处理后 FTO 薄膜的结构演化 | 第36-38页 |
| ·不同温度热处理后 FTO 薄膜的形貌演化 | 第38-43页 |
| ·不同温度热处理后 FTO 薄膜光学性能的变化 | 第43-44页 |
| ·不同温度热处理后 FTO 薄膜电学性能的变化 | 第44-47页 |
| ·不同温度热处理后 FTO 薄膜残余应力的变化 | 第47-51页 |
| ·FTO 薄膜在后期热处理过程中的时间效应 | 第51-74页 |
| ·FTO 薄膜样品的制备及表征 | 第51页 |
| ·热处理不同时间后 FTO 薄膜的结构演化 | 第51-54页 |
| ·热处理不同时间后 FTO 薄膜的形貌演化 | 第54-59页 |
| ·热处理不同时间后 FTO 薄膜光学性能的变化 | 第59-61页 |
| ·FTO 薄膜的光致发光机理研究 | 第61-67页 |
| ·热处理不同时间后 FTO 薄膜电学性能的变化 | 第67-70页 |
| ·热处理不同时间 FTO 薄膜微观力学性能的变化 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第4章 FTO 薄膜在钢化过程中的温度效应和时间效应 | 第75-117页 |
| ·FTO 薄膜在钢化过程中的温度效应 | 第75-95页 |
| ·FTO 薄膜样品的钢化工艺及表征 | 第75页 |
| ·不同温度钢化后 FTO 薄膜结构的演化 | 第75-77页 |
| ·不同温度钢化后 FTO 薄膜的形貌演化 | 第77-78页 |
| ·不同温度钢化后 FTO 薄膜电学性能的变化 | 第78-80页 |
| ·不同钢化温度下 FTO 薄膜的导电机理研究 | 第80-92页 |
| ·钢化后 FTO 薄膜本征硬度的探究 | 第92-95页 |
| ·FTO 薄膜钢化过程中的时间效应 | 第95-115页 |
| ·FTO 薄膜样品的制备及表征 | 第95页 |
| ·钢化不同时间后 FTO 薄膜的结构演化 | 第95-97页 |
| ·钢化不同时间后 FTO 薄膜的形貌演化 | 第97-98页 |
| ·钢化不同时间后 FTO 薄膜电学性能的变化 | 第98-100页 |
| ·钢化不同时间后 FTO 薄膜导电机理的研究 | 第100-111页 |
| ·钢化后 FTO 薄膜的光致发光性能研究 | 第111-115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 第5章 Ag 基薄膜后期处理过程中的温度和时间效应 | 第117-146页 |
| ·Ag 基薄膜热处理过程中的温度效应 | 第117-121页 |
| ·Ag 基薄膜热处理过程及表征 | 第117页 |
| ·不同温度热处理后 Ag 基薄膜的结构演化 | 第117-118页 |
| ·不同温度热处理后 Ag 基薄膜光学性能的变化 | 第118-119页 |
| ·不同温度热处理后 Ag 基薄膜电学性能的变化 | 第119-121页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜热处理过程中的温度效应 | 第121-129页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜的制备及表征 | 第121-122页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜热处理前后的结构演化 | 第122-124页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜热处理前后的形貌演化 | 第124-125页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜热处理前后光学性能的分析 | 第125-127页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜热处理前后电学性能的分析 | 第127-129页 |
| ·Ag 基 Low-E 玻璃耐水性测试 | 第129-133页 |
| ·实验条件和性能表征 | 第129页 |
| ·未改良和改良型 Ag 基 Low-E 玻璃光学性能的变化 | 第129-131页 |
| ·水雾处理前后 Ag 基薄膜形貌的变化 | 第131-133页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜钢化过程中的时间效应 | 第133-144页 |
| ·改良型 Ag 基薄膜的制备及表征 | 第133页 |
| ·钢化前后改良型 Ag 基薄膜的形貌及成分分析 | 第133-134页 |
| ·钢化前后改良型 Ag 基薄膜的结构分析 | 第134-135页 |
| ·钢化前后改良型 Ag 基薄膜的电学性能分析 | 第135-138页 |
| ·钢化前后改良型 Ag 基薄膜的光学性能分析 | 第138-139页 |
| ·钢化前后改良型 Ag 基薄膜的元素分析 | 第139-144页 |
| ·本章小结 | 第144-146页 |
| 结论 | 第146-147页 |
| 参考文献 | 第147-158页 |
| 攻读博士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第158-161页 |
| 致谢 | 第161-162页 |
| 作者简介 | 第162页 |
