| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·ZnO的结构与性质 | 第9-11页 |
| ·ZnO的缺陷与掺杂 | 第11-12页 |
| ·AZO薄膜的应用以及研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文研究意义及内容 | 第13-15页 |
| 2 AZO薄膜的制备技术及表征 | 第15-20页 |
| ·射频磁控溅射（RFMagnetronSputtering）技术 | 第15-16页 |
| ·薄膜样品的表征 | 第16-20页 |
| 3 AZO薄膜的制备及其性能研究 | 第20-34页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第20-22页 |
| ·AZO薄膜的性能研究 | 第22-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 工艺参数对AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第34-45页 |
| ·理论和计算 | 第34-36页 |
| ·Ar流量对AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第36-39页 |
| ·溅射功率对AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第39-41页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 5 AZO薄膜在非晶硅薄膜电池上的应用 | 第45-52页 |
| ·绒面结构AZO对薄膜电池性能影响 | 第45-48页 |
| ·不同光学性能AZO薄膜对电池性能影响 | 第48-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 6 总结 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第61页 |