| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·铁电体概述 | 第9-11页 |
| ·铁电薄膜材料的发展简介 | 第11-12页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜材料的研究现状 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第13页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| ·选题依据和主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·选题依据 | 第15-16页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 薄膜的制备和表征方法 | 第17-26页 |
| ·MOD 法制备 NKBT100x 和 NKBT-N100x 薄膜的实验仪器和实验环境 | 第17-18页 |
| ·MOD 法制备薄膜的实验环境 | 第17页 |
| ·MOD 法制备薄膜的实验设备 | 第17-18页 |
| ·NKBT100x 和 NKBT-N100x 薄膜的制备 | 第18-22页 |
| ·主要实验原料 | 第18-19页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第19-20页 |
| ·基底的清洗 | 第20页 |
| ·薄膜制备流程 | 第20-22页 |
| ·薄膜顶电极的制备 | 第22页 |
| ·NKBT100x 和 NKBT-N100x 薄膜的表征方法 | 第22-26页 |
| ·相结构和表面形貌的表征 | 第22-23页 |
| ·电学性能的测试 | 第23-24页 |
| ·力学性能的测试 | 第24-26页 |
| 第3章 NKBT100x 铁电薄膜准同性相界的确定 | 第26-35页 |
| ·NKBT100x 薄膜的表面形貌 | 第26-27页 |
| ·NKBT100x 薄膜的相结构 | 第27-29页 |
| ·多峰拟合法确定 NKBT100x 薄膜的准同型相界 | 第29-31页 |
| ·NKBT100x 薄膜的铁电性能 | 第31页 |
| ·NKBT100x 薄膜的压电性能 | 第31-33页 |
| ·NKBT100x 薄膜的介电温谱 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 铌掺杂对 NKBT15 铁电薄膜力学和电学性能的影响 | 第35-45页 |
| ·NKBT15-N100x 薄膜的微观结构 | 第35-37页 |
| ·NKBT15-N100x 薄膜的力学性能 | 第37-40页 |
| ·NKBT15-N100x 薄膜的铁电性能 | 第40-41页 |
| ·NKBT15-N100x 薄膜的压电性能 | 第41-43页 |
| ·NKBT15-N100x 薄膜的漏电流 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第5章 总结和展望 | 第45-47页 |
| ·全文总结 | 第45页 |
| ·工作展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和成果 | 第54页 |
