悬臂梁式微开关特性分析研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 图表目录 | 第8-9页 |
| 符号说明 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-29页 |
| ·微机电系统概述 | 第12-17页 |
| ·微机电系统 | 第12-15页 |
| ·微机电系统的应用 | 第15-17页 |
| ·微机电系统面临的挑战 | 第17页 |
| ·MEMS 国内外研究状况 | 第17-19页 |
| ·国外研究状况 | 第17-18页 |
| ·国内研究现状 | 第18-19页 |
| ·微机械开关 | 第19-24页 |
| ·微机械开关简介 | 第19-20页 |
| ·微机械开关的驱动方式与结构类型 | 第20-24页 |
| ·微开关的应用前景 | 第24页 |
| ·课题的意义及论文的内容 | 第24-29页 |
| ·课题意义 | 第24-27页 |
| ·论文内容 | 第27-29页 |
| 2 悬臂梁式微开关建模 | 第29-35页 |
| ·ANSYS 简介 | 第29页 |
| ·微系统建模 | 第29-35页 |
| ·建立模型并划分网格 | 第29-34页 |
| ·边界条件 | 第34-35页 |
| 3 系统静态分析 | 第35-40页 |
| ·静电吸附 | 第35页 |
| ·静平衡理论求解 | 第35-37页 |
| ·ANSYS 静态分析 | 第37-40页 |
| 4 系统动态分析 | 第40-52页 |
| ·动态分析理论求解 | 第40-42页 |
| ·悬臂梁模态分析 | 第42-45页 |
| ·悬臂梁动态分析 | 第45-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 5 系统稳定性分析 | 第52-60页 |
| ·承受直流驱动电压下系统稳定性理论分析 | 第52-53页 |
| ·承受交流驱动电压下系统稳定性理论分析 | 第53-57页 |
| ·弗洛凯理论 | 第53-56页 |
| ·承受交流驱动电压下的稳定性分析 | 第56-57页 |
| ·系统稳定性分析 | 第57-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第67-68页 |
