磁场作用下微细电铸技术试验研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-26页 |
| ·微机电系统及金属微结构加工技术 | 第12-16页 |
| ·微机电系统与微细加工 | 第12-13页 |
| ·金属微结构加工技术 | 第13-16页 |
| ·微细电铸技术及其发展 | 第16-19页 |
| ·磁场作用下电化学沉积技术及其研究进展 | 第19-23页 |
| ·电解液分散能力和覆盖能力 | 第19页 |
| ·极限电流密度和沉积速度 | 第19-20页 |
| ·阴极电流效率 | 第20页 |
| ·沉积层特性 | 第20-23页 |
| ·本文研究的目的意义 | 第23-24页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 2 磁场作用下电化学沉积基本理论分析 | 第26-38页 |
| ·电化学沉积基本理论 | 第26-31页 |
| ·电化学沉积原理 | 第26页 |
| ·液相传质 | 第26-30页 |
| ·金属电结晶 | 第30-31页 |
| ·磁场作用下电化学沉积机理分析 | 第31-36页 |
| ·磁流体力学效应 | 第31-33页 |
| ·梯度磁力效应 | 第33-34页 |
| ·磁化力效应 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 3 磁场作用下微细电铸试验装置研制 | 第38-52页 |
| ·磁场作用下微细电铸试验装置总体规划 | 第38页 |
| ·磁场发生单元设计 | 第38-48页 |
| ·磁场场源选择 | 第38-39页 |
| ·永磁磁路结构设计 | 第39-48页 |
| ·电沉积单元设计 | 第48-49页 |
| ·电解液循环单元设计 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 4 磁场作用下常规电铸基础试验研究 | 第52-62页 |
| ·电铸实施前的工艺准备 | 第52-54页 |
| ·电铸溶液选择 | 第52-53页 |
| ·导电基底处理 | 第53页 |
| ·工艺参数选择 | 第53-54页 |
| ·试验 | 第54页 |
| ·结果与讨论 | 第54-61页 |
| ·表面状态 | 第54-60页 |
| ·显微硬度 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 磁场作用下微细电铸技术试验研究 | 第62-72页 |
| ·微细电铸工艺特点 | 第62-63页 |
| ·微细电铸芯模的制作 | 第63-64页 |
| ·磁场作用下微细电铸试验 | 第64-68页 |
| ·试验 | 第64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-68页 |
| ·形貌特征 | 第64-67页 |
| ·显微硬度 | 第67-68页 |
| ·典型高深宽比结构磁微细电铸试验 | 第68-70页 |
| ·试验 | 第68页 |
| ·结果与讨论 | 第68-70页 |
| ·后续加工处理 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 6 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 作者简历 | 第80-82页 |
| 学位论文数据集 | 第82页 |
