化学镀铜工艺研究及生产线设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·化学镀铜技术概述 | 第9-11页 |
| ·化学镀铜原理及溶液基本组成 | 第9-10页 |
| ·化学镀铜的应用 | 第10-11页 |
| ·化学镀铜工艺的研究进展 | 第11-19页 |
| ·活化工艺 | 第11-15页 |
| ·化学镀铜溶液的研究进展 | 第15-19页 |
| ·化学镀铜生产线设计概述 | 第19-20页 |
| ·本课题的研究内容及意义 | 第20-22页 |
| 第二章 实验方法 | 第22-28页 |
| ·仪器与试剂 | 第22-23页 |
| ·实验仪器 | 第22页 |
| ·实验药品 | 第22-23页 |
| ·电化学测试 | 第23-24页 |
| ·测试装置 | 第23-24页 |
| ·极化曲线测试 | 第24页 |
| ·化学镀铜工艺 | 第24-25页 |
| ·实验装置 | 第24页 |
| ·工艺流程 | 第24-25页 |
| ·化学镀铜镀速与镀液寿命的测定 | 第25-26页 |
| ·化学镀铜镀速的测定 | 第25-26页 |
| ·化学镀铜溶液稳定性分析 | 第26页 |
| ·化学镀铜液循环寿命的测定 | 第26页 |
| ·镀液组成及镀层形貌、组分、结构分析 | 第26-27页 |
| ·能谱（EDS）分析 | 第26页 |
| ·X 射线衍射（XRD）分析 | 第26-27页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第27页 |
| ·电感耦合等离子体发射光谱（ICP-AES）分析 | 第27页 |
| ·傅里叶红外光谱（FTIR）分析 | 第27页 |
| ·紫外分光光度法（UV）分析 | 第27页 |
| ·镀层结合力分析 | 第27-28页 |
| 第三章 活化工艺研究 | 第28-38页 |
| ·KOH 表面改性工艺研究 | 第28-30页 |
| ·离子钯活化液组成研究 | 第30-36页 |
| ·活化液的设计 | 第31-33页 |
| ·络合剂的影响 | 第33-35页 |
| ·Pd~(2+)浓度的影响 | 第35页 |
| ·NH_4Cl 浓度的影响 | 第35页 |
| ·pH 的影响 | 第35-36页 |
| ·铜镀层形貌和结合力分析 | 第36-37页 |
| ·铜镀层形貌分析 | 第36页 |
| ·铜镀层结合力分析 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 化学镀铜工艺研究 | 第38-61页 |
| ·镀液组成对镀速和稳定性的影响 | 第38-52页 |
| ·Cu~(2+)浓度的影响 | 第38-39页 |
| ·络合剂浓度的影响 | 第39-40页 |
| ·Ni~(2+)浓度的影响 | 第40-41页 |
| ·甲醛浓度的影响 | 第41-42页 |
| ·稳定剂浓度的影响 | 第42-52页 |
| ·pH 对镀速和稳定性的影响 | 第52-53页 |
| ·温度对镀速和稳定性的影响 | 第53-54页 |
| ·较优工艺的确定 | 第54页 |
| ·镀液补加工艺 | 第54-56页 |
| ·Cu~(2+)的补加 | 第55页 |
| ·Ni~(2+)的补加 | 第55页 |
| ·稳定剂的补加 | 第55-56页 |
| ·镀液循环寿命的测定 | 第56-58页 |
| ·镀层性能的表征 | 第58-60页 |
| ·镀层的成分分析 | 第59页 |
| ·镀层表面形貌和结构分析 | 第59页 |
| ·镀层结合力分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 化学镀铜生产线设计 | 第61-87页 |
| ·设计要求 | 第61页 |
| ·工艺流程 | 第61-62页 |
| ·确定化学镀工艺设备规格 | 第62-66页 |
| ·确定每道工序槽体尺寸、材料和设计镀槽 | 第62-64页 |
| ·确定加热方式及加热器规格 | 第64-65页 |
| ·确定过滤机规格 | 第65页 |
| ·确定溶液搅拌方式及气泵规格 | 第65-66页 |
| ·确定抽风机规格 | 第66页 |
| ·设计温度、pH、浓度自动控制系统 | 第66-72页 |
| ·温度控制系统 | 第66-67页 |
| ·pH 控制系统 | 第67页 |
| ·组分浓度控制系统 | 第67-69页 |
| ·监控软件 | 第69-72页 |
| ·设计化学镀铜液副产物去除工艺 | 第72-75页 |
| ·设计 Pd~(2+)回收工艺 | 第75页 |
| ·设计各工艺过程漂洗液回收工艺 | 第75-82页 |
| ·除油过程的漂洗液处理工艺设计 | 第76-79页 |
| ·活化过程的漂洗液处理工艺设计 | 第79-80页 |
| ·还原过程的漂洗液处理工艺设计 | 第80-81页 |
| ·化学镀铜过程的漂洗液处理工艺设计 | 第81-82页 |
| ·设计化学镀铜生产线平面图 | 第82页 |
| ·计算成本及利润 | 第82-85页 |
| ·成本计算 | 第82-85页 |
| ·利润计算 | 第85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第六章 结论 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第93-94页 |
| 附录 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
