激光靶丸表面几何状态的测量系统及评价方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-33页 |
| ·课题背景及研究的目的意义 | 第16-17页 |
| ·激光靶丸特征参数测量的研究现状 | 第17-23页 |
| ·国外研究状况 | 第17-22页 |
| ·国内的研究现状 | 第22-23页 |
| ·球面轮廓的测量方法及研究现状 | 第23-27页 |
| ·球面轮廓的精密测量方法 | 第23-25页 |
| ·球面轮廓测量的研究状况 | 第25-27页 |
| ·球面轮廓的评定方法及研究现状 | 第27-30页 |
| ·球度评定及其研究状况 | 第27-28页 |
| ·球面局部特征评定及研究现状 | 第28-29页 |
| ·靶丸表面功率谱评价及研究现状 | 第29-30页 |
| ·对当前研究现状的分析 | 第30-32页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第32-33页 |
| 第2章 激光靶丸表面几何状态特征的评价方法 | 第33-54页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·球面测量的一般评价参数 | 第33-39页 |
| ·表面粗糙度参数 | 第33-35页 |
| ·表面波纹度参数 | 第35-36页 |
| ·圆度误差 | 第36-37页 |
| ·球度误差 | 第37-39页 |
| ·流体力学不稳定性与模数分析 | 第39-45页 |
| ·流体力学不稳定简介 | 第39-40页 |
| ·流体力学不稳定的理论推导 | 第40-43页 |
| ·模数与扰动初值分析 | 第43-45页 |
| ·靶丸表面模数功率谱评价 | 第45-50页 |
| ·基于FFT的功率谱算法 | 第45-48页 |
| ·表面缺陷对功率谱的影响及修正 | 第48-50页 |
| ·功率谱与球面一般评价参数的对应关系 | 第50-52页 |
| ·功率谱与轮廓均方根偏差的转换关系 | 第51页 |
| ·靶丸圆周轮廓划分及与功率谱的对应关系 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 靶丸表面几何状态测量系统研制 | 第54-70页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·测量系统的总体方案 | 第54-58页 |
| ·球面轮廓的测量原理 | 第54-56页 |
| ·测量系统的组成 | 第56-57页 |
| ·系统工作原理 | 第57-58页 |
| ·机械系统关键部件设计 | 第58-63页 |
| ·AFM系统台面布局设计 | 第58-59页 |
| ·精密回转气浮主轴系设计 | 第59-61页 |
| ·辅助机械部件设计 | 第61-63页 |
| ·电控系统的研制 | 第63-66页 |
| ·主轴电机调速控制卡研制 | 第63-64页 |
| ·单片机控制卡的研制 | 第64-66页 |
| ·控制软件设计与编制 | 第66-69页 |
| ·控制软件的功能模块设计 | 第66-67页 |
| ·主控软件程序设计 | 第67-69页 |
| ·单片机程序设计 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 靶丸表面几何状态测量系统的精度分析 | 第70-90页 |
| ·引言 | 第70-71页 |
| ·靶丸表面几何状态测量系统的测量精度分析 | 第71-75页 |
| ·测量系统检定与转换误差分析 | 第71页 |
| ·测量系统静态噪声分析 | 第71-73页 |
| ·轴系回转精度分析 | 第73-75页 |
| ·靶丸正交双轴系转位误差分析 | 第75-86页 |
| ·微吸管的管口参数设计及其制作 | 第75-78页 |
| ·靶丸负压吸附的可靠性分析 | 第78-80页 |
| ·双轴系轴线不垂直产生的转位误差 | 第80-84页 |
| ·双轴系空间位置关系对转位误差的影响 | 第84-86页 |
| ·测量系统综合精度测试 | 第86-89页 |
| ·系统的测量精度测试 | 第86-88页 |
| ·双轴系靶丸转位精度测试 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 靶丸表面几何状态测量实验与特征评价 | 第90-114页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·靶丸表面局部测量与评价 | 第90-91页 |
| ·靶丸局部表面测量实验 | 第90-91页 |
| ·靶丸局部表面粗糙度评价 | 第91页 |
| ·正交大圆法测量与评价 | 第91-98页 |
| ·测量轨迹方案与规划 | 第91-93页 |
| ·正交大圆法的测量实验研究 | 第93-96页 |
| ·靶丸正交大圆法测量的表面评价 | 第96-98页 |
| ·等间隔经圆法测量与评价 | 第98-101页 |
| ·测量轨迹规划与方案 | 第98-99页 |
| ·等间隔经圆法的测量实验研究 | 第99-100页 |
| ·靶丸等间隔经圆法测量的表面评价 | 第100-101页 |
| ·靶丸全表面经纬迹线覆盖与测量效率研究 | 第101-108页 |
| ·靶丸全表面经纬测量轨迹方案 | 第101-102页 |
| ·靶丸全表面经纬测量的覆盖率 | 第102-108页 |
| ·靶丸全表面测量实验的时间效率分析 | 第108页 |
| ·靶丸表面调制加工再测量的研究 | 第108-113页 |
| ·靶丸表面局部调制加工实验及形貌测量 | 第109-110页 |
| ·靶丸表面圆周调制加工实验及再测量研究 | 第110-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-125页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第125-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 个人简历 | 第128页 |
