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Arq+离子与HOPG表面相互作用的纳米刻蚀效应研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1.引言第8-17页
     ·高电荷态离子源第9-13页
       ·电子回旋共振离子源(ECRIS)第9-11页
       ·电子束离子源(EBIS)第11-12页
       ·电子束离子阱(EBIT)第12-13页
     ·表面实验方法简介第13-17页
       ·能量分析器(EEA)第14页
       ·光电子能谱(XPS或UPS)第14页
       ·俄歇电子能谱(AES)第14-15页
       ·低能电子衍射(LEED)第15页
       ·电子能量损失谱(EELS)第15页
       ·扫描隧道显微镜(STM)第15-16页
       ·原子力显微镜(AFM)第16-17页
2.高电态离子与固体相互作用机理第17-31页
     ·高电态离子与固体相互作用过程第17-18页
     ·高电荷态离子与固体相互作用现象第18-22页
       ·粒子溅射第18-21页
       ·纳米丘的形成第21-22页
     ·理论模型第22-31页
       ·经典过垒模型(Classical Over-Barrier Model)第22-24页
       ·库伦爆炸模型(Coulomb Explosions Model)第24-27页
       ·电子缺陷模型(Defect Mediated)第27-29页
       ·动能辅助模型(Kinetically Assisted Potential Model)第29-31页
3.氩离子在HOPG上产生的纳米缺陷研究第31-52页
     ·实验设备第31-35页
     ·高温超导的电子束离子源(High—Tc EBIS)第31页
       ·JSPM-4500A型扫描探针显微镜(SPM)第31-35页
         ·扫描隧道显微镜(STM)工作原理第32-33页
         ·扫描隧道显微镜的工作模式第33-34页
         ·JSPM-4500A型扫描探针显微镜图片第34-35页
     ·样品制备第35-37页
     ·实验过程第37-38页
     ·实验结果及分析第38-49页
       ·HOPG的STM图片第38-41页
       ·纳米丘的横纵向尺寸统计分布第41-43页
       ·纳米丘的动能和势能效应第43-48页
         ·Ar~(1+)(E_K=160eV)离子轰击HOPG形成纳米丘动能效应第43页
         ·Ar~(q+)(q=8,9)离子轰击HOPG形成纳米丘的动能效应第43-45页
         ·Ar~(q+)(q=8,9)离子轰击HOPG形成纳米丘的势能效应第45-47页
         ·Ar~(q+)(q=8,9)离子轰击HOPG形成纳米丘体积与动能和势能的关系第47-48页
       ·Ar~(q+)离子轰击HOPG形成纳米丘的原子数估算第48-49页
     ·纳米丘的形成机理第49-52页
4.总结与展望第52-54页
     ·实验结果总结第52-53页
     ·研究工作展望第53-54页
5.参考文献第54-59页
6.在校期间研究成果第59-60页
7.致谢第60页

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