| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-32页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·纳米技术的发展 | 第10-14页 |
| ·纳米技术及其新兴学科 | 第10-11页 |
| ·纳米技术的应用 | 第11-13页 |
| ·国内外纳米技术的发展现状 | 第13-14页 |
| ·扫描探针显微镜家族(SPM) | 第14-22页 |
| ·扫描隧道显微镜(STM) | 第15-17页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第17-18页 |
| ·在STM 和AFM 基础上发展起来的其它新型显微镜 | 第18-22页 |
| ·SPM 的主要应用领域 | 第22-29页 |
| ·在表面科学中的应用 | 第23-25页 |
| ·在生命科学中的应用 | 第25-26页 |
| ·在纳米加工领域的应用 | 第26-29页 |
| ·本论文课题的来源及其研究意义 | 第29页 |
| ·本论文课题的来源 | 第29页 |
| ·本论文课题的研究意义 | 第29页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 2 STM 和 AFM 的基础理论 | 第32-58页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·扫描隧道显微术基础理论 | 第32-38页 |
| ·隧道效应 | 第32-35页 |
| ·隧道电流 | 第35-37页 |
| ·STM 的工作原理 | 第37页 |
| ·STM 的工作模式 | 第37-38页 |
| ·原子力显微术基础理论 | 第38-56页 |
| ·与AFM 有关的力 | 第39-44页 |
| ·AFM 的工作原理 | 第44页 |
| ·力曲线 | 第44-48页 |
| ·AFM 针尖－样品表面间作用力的理论模型 | 第48-51页 |
| ·AFM 的成像模式 | 第51-53页 |
| ·AFM 微悬臂形变的检测方法 | 第53-55页 |
| ·AFM 的工作模式 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 3 高精度原子力显微镜 AFM.IPC-208B 系统设计 | 第58-82页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机的系统组成及技术指标 | 第58-60页 |
| ·镜体 | 第60-75页 |
| ·AFM.IPC-208B 镜体设计的技术要求及组成 | 第60-64页 |
| ·振动隔绝系统 | 第64-65页 |
| ·压电陶瓷扫描器 | 第65-67页 |
| ·微悬臂的设计 | 第67-69页 |
| ·步进驱动系统 | 第69-74页 |
| ·镜体的运行及操作 | 第74-75页 |
| ·镜体的特点 | 第75页 |
| ·数据采集系统 | 第75-79页 |
| ·前置放大器 | 第76-77页 |
| ·对数放大器 | 第77页 |
| ·比例放大器 | 第77-78页 |
| ·低通与高通滤波器 | 第78-79页 |
| ·扫描系统 | 第79-80页 |
| ·步进电机驱动电路 | 第79-80页 |
| ·扫描驱动电路 | 第80页 |
| ·计算机工作站 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 4 AFM.IPC-208B 在表面粗糙度检测和微细加工中的应用 | 第82-104页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·AFM.IPC-208B 在表面粗糙度检测中的应用 | 第82-99页 |
| ·表面粗糙度测量技术 | 第82-84页 |
| ·二维表面粗糙度评定参数 | 第84-87页 |
| ·三维表面粗糙度评定参数 | 第87-91页 |
| ·二维和三维表面粗糙度参数计算程序的设计 | 第91-99页 |
| ·AFM.IPC-208B 在微细加工中的应用 | 第99-103页 |
| ·基于SPM 的微细加工方法 | 第99-101页 |
| ·AFM.IPC-208B 在微细加工中的应用研究 | 第101-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 5 AFM.IPC-208B 在小分子结构方面的应用 | 第104-116页 |
| ·引言 | 第104页 |
| ·AFM.IPC-208B 型机分辨率测试和性能分析 | 第104-105页 |
| ·AFM.IPC-208B 在小分子结构形态学方面的应用研究 | 第105-111页 |
| ·AFM.IPC-208B 在小分子结构形态学方面研究的现状 | 第105-106页 |
| ·WO3 溶胶掺铂晶化薄膜分子结构形态的研究 | 第106-108页 |
| ·TiN 薄膜分子结构形态的研究 | 第108-110页 |
| ·ZnO 薄膜分子结构形态的研究 | 第110-111页 |
| ·AFM.IPC-208B 在生物学方面的应用研究 | 第111-113页 |
| ·本章小结 | 第113-116页 |
| 6 总结与展望 | 第116-118页 |
| ·全文总结 | 第116-117页 |
| ·展望 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-126页 |
| 附录 | 第126-127页 |
