微型法—珀腔阵列光谱探测器研究

中文摘要	第1-4页
英文摘要	第4-8页
1 绪论	第8-19页
·引言	第8页
·国内外研究现状	第8-17页
·本文研究的目的和研究内容	第17-18页
·本章小结	第18-19页
2 微型法-珀腔阵列光谱探测器的结构和工作原理	第19-26页
·引言	第19页
·问题的提出	第19-23页
·光谱仪器的结构及工作原理	第19-20页
·微型法-珀腔阵列光谱探测器方案的提出	第20-23页
·微型法-珀腔阵列光谱探测器的结构及工作原理	第23-25页
·微型法-珀腔光谱探测器的总体结构	第23-25页
·微型法-珀腔光谱探测器光谱探测原理	第25页
·本章小结	第25-26页
3 微型法—珀腔的结构设计与模拟	第26-48页
·引言	第26页
·相关理论	第26-40页
·色散原理概述	第26-28页
·多光束干涉和单层介质薄膜光学特性	第28-37页
·全介质法-珀腔光学特性	第37-40页
·法-珀腔的结构	第40页
·模拟计算	第40-47页
·金属薄膜光学性能计算及法-珀腔反射膜选择	第40-45页
·法-珀腔光学特性模拟计算及优化	第45-47页
·影响法-珀腔光学特性的因素	第47页
·本章小结	第47-48页
4 微型法—珀腔阵列光谱探测器加工工艺设计	第48-56页
·引言	第48页
·加工工艺与工艺流程设计	第48-53页
·加工误差分析	第53-55页
·本章小结	第55-56页
5 结论与展望	第56-58页
·主要研究内容与结论	第56页
·后续研究工作的展望	第56-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-62页
作者在硕士研究生学习期间发表的论文	第62页