微结构功能表面金刚石超精密加工工艺的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8-10页 |
| ·微结构超精密加工技术发展现状 | 第10-12页 |
| ·微结构功能表面超精密加工工艺概述 | 第12-14页 |
| ·本课题的研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 金刚石尖刀制备工艺的研究 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·单晶金刚石特性 | 第16-19页 |
| ·机械物理特性 | 第16-17页 |
| ·化学特性 | 第17-18页 |
| ·力学特性 | 第18-19页 |
| ·刀具刃磨条件 | 第19页 |
| ·单晶金刚石尖刀的制备 | 第19-22页 |
| ·几何参数 | 第20页 |
| ·选料与晶体定向 | 第20-21页 |
| ·切割与装夹 | 第21页 |
| ·刀具的研磨 | 第21-22页 |
| ·刀具的检测 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 同轴调制微结构的超精密加工与检测 | 第25-41页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·试验条件 | 第25-29页 |
| ·加工设备 | 第25-27页 |
| ·加工材料 | 第27-28页 |
| ·检测设备 | 第28-29页 |
| ·加工原理及加工过程 | 第29-32页 |
| ·正弦波微结构的加工原理 | 第29-30页 |
| ·锯齿波微结构的加工原理 | 第30-32页 |
| ·切削条件对加工精度的影响 | 第32-36页 |
| ·刀尖圆弧半径的影响 | 第32-33页 |
| ·加工材料的影响 | 第33-35页 |
| ·切削液的影响 | 第35-36页 |
| ·切削用量对加工精度的影响 | 第36-38页 |
| ·主轴转速的影响 | 第36-37页 |
| ·X 向进给速度的影响 | 第37-38页 |
| ·微结构表面的分形表征 | 第38-40页 |
| ·主轴转速与表面粗糙度和分形维数的关系 | 第38-39页 |
| ·进给速度与表面粗糙度和分形维数的关系 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 刀具磨损研究 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·试验简介 | 第41页 |
| ·刀具磨损的基本理论 | 第41-42页 |
| ·尖刀所受切削力分析 | 第42-44页 |
| ·切削力理论分析 | 第42-43页 |
| ·切削力特点分析 | 第43-44页 |
| ·磨损结果分析 | 第44-48页 |
| ·刀具磨损对被加工精度的影响 | 第44-46页 |
| ·刀具磨损的SEM 分析 | 第46-47页 |
| ·刀具磨损的热力学分析 | 第47-48页 |
| ·刀尖与工件间的作用对刀具磨损的影响 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
