电子散斑相移测量物体三维形貌
| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·三维形貌测量方法的分类及发展状况 | 第10-15页 |
| ·触针法 | 第10-11页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第11页 |
| ·原理力显微镜 | 第11页 |
| ·光切法 | 第11页 |
| ·光斑法 | 第11-12页 |
| ·云纹法 | 第12-13页 |
| ·投影栅相位法 | 第13-14页 |
| ·散斑干涉法 | 第14-15页 |
| ·本论文研究意义及内容 | 第15页 |
| ·本章小结 | 第15-18页 |
| 第二章 电子散斑干涉技术测量三维形貌方法的研究 | 第18-42页 |
| ·散斑的成因及其类型 | 第18-19页 |
| ·电子散斑干涉测量三维形貌的原理 | 第19-32页 |
| ·电子散斑干涉相移技术 | 第20-32页 |
| ·利用杨氏双缝干涉测量三维形貌 | 第32-35页 |
| ·杨氏双缝干涉原理 | 第32-33页 |
| ·关于杨氏双缝干涉实验的一些改进 | 第33-35页 |
| ·利用牛顿环测量三维形貌 | 第35-37页 |
| ·陡峭表面的形貌测量 | 第37-39页 |
| ·大型物体的三维测量 | 第39-40页 |
| ·子区域拼接法 | 第39-40页 |
| ·扫描相移法 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 相位提取的方法原理及分类 | 第42-50页 |
| ·傅里叶变换法提取相位 | 第42-44页 |
| ·傅里叶变换法提取相位原理 | 第42-43页 |
| ·傅里叶变换法提取相位的应用 | 第43-44页 |
| ·常用的提取相位的相移算法 | 第44-49页 |
| ·相移算法的分类 | 第44-47页 |
| ·影响相移算法的误差分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 相位展开算法 | 第50-58页 |
| ·相位展开的基本原理简介 | 第50-52页 |
| ·相位展开的方法 | 第52-55页 |
| ·枝切法 | 第52页 |
| ·质量图导向法 | 第52页 |
| ·最小费用流法 | 第52-53页 |
| ·最小二乘法 | 第53-54页 |
| ·正则化方法 | 第54页 |
| ·基于贝叶斯推断的ZπM 算法 | 第54页 |
| ·时域相位解包法 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-58页 |
| 第五章 实验数据的采集与处理 | 第58-72页 |
| ·电子散斑干涉实验装置 | 第58-64页 |
| ·基于电子散斑干涉的四步相移实验结果 | 第59-62页 |
| ·基于电子散斑干涉的傅里叶变换法实验结果 | 第62-64页 |
| ·基于投影栅线的四步相移实验结果 | 第64-67页 |
| ·投影栅线法测量形貌的相位提取方法原理 | 第64-66页 |
| ·投影栅相位法测量三维形貌的原理 | 第66-67页 |
| ·条纹投影三维形貌测量 | 第67-70页 |
| ·实验测量原理 | 第67-70页 |
| ·相位提取过程 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
