| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| ·铁电体 | 第11-12页 |
| ·铁电薄膜概述 | 第12-25页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第13页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第13-19页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第19-23页 |
| ·研究现状 | 第23-25页 |
| ·本课题的选材及研究目的、内容 | 第25-26页 |
| ·课题选材及研究目的 | 第25页 |
| ·本课题的内容 | 第25-26页 |
| 第二章 实验材料和实验方法 | 第26-37页 |
| ·实验设备和材料 | 第26-28页 |
| ·实验设备 | 第26-27页 |
| ·实验材料 | 第27页 |
| ·基底的选择与处理 | 第27-28页 |
| ·铁电薄膜制备原理 | 第28页 |
| ·环境要求 | 第28页 |
| ·工艺流程 | 第28-31页 |
| ·湿膜制备 | 第29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29-30页 |
| ·影响因素 | 第30-31页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第31-37页 |
| ·SEM | 第31页 |
| ·XRD | 第31页 |
| ·铁电性测试 | 第31-37页 |
| 第三章 退火气氛对(Bi, Dy)_4Ti_3O_(12) 薄膜性能的影响 | 第37-43页 |
| ·实验过程 | 第37页 |
| ·实验结果与讨论 | 第37-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 退火温度对(Bi, Dy)_4Ti_3O_(12) 薄膜性能的影响 | 第43-53页 |
| ·实验过程 | 第43页 |
| ·空气中退火温度对BDT薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| ·氮气中退火温度对(Bi, Dy)_4Ti_3O_(12)薄膜性能的影响 | 第46-49页 |
| ·氧气中退火温度对(Bi, Dy)_4Ti_3O_(12)薄膜性能的影响 | 第49-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 Dy 元素的含量对 BDT 薄膜性能的影响 | 第53-59页 |
| ·实验过程 | 第53-54页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第53页 |
| ·BDT 薄膜的制备 | 第53-54页 |
| ·样品表征 | 第54页 |
| ·实验结果与讨论 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第六章 BYT 薄膜制备及退火温度对其性能影响 | 第59-64页 |
| ·实验过程 | 第59页 |
| ·实验结果与讨论 | 第59-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 全文总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 附录 A(攻读硕士学位期间发表论文目录) | 第74-75页 |
