| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 1 绪论 | 第14-26页 |
| ·研究背景及意义 | 第14-16页 |
| ·国内外清洗技术研究进展 | 第16-25页 |
| ·清洗方式 | 第16-17页 |
| ·主流清洗技术 | 第17-18页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗技术发展 | 第18-22页 |
| ·激光等离子体冲击波 | 第22-24页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗技术存在的问题 | 第24-25页 |
| ·本论文的主要工作 | 第25-26页 |
| 2 激光等离子体冲击波空气介质中的传播 | 第26-47页 |
| ·激光等离子体冲击波产生机制 | 第26-27页 |
| ·基本冲击波理论 | 第27-30页 |
| ·冲击波结构 | 第27-28页 |
| ·冲击波基本关系式 | 第28-29页 |
| ·冲击波解的确定 | 第29-30页 |
| ·气态介质中冲击波运动规律 | 第30-32页 |
| ·Taylor-Sedov“点”爆炸 | 第30-31页 |
| ·激光等离子体冲击波下的“点”爆炸修正 | 第31-32页 |
| ·半经验激光等离子体冲击波理论 | 第32页 |
| ·激光等离子体冲击波的实验检测 | 第32-46页 |
| ·“zig-zag”多光束偏转法实验装置 | 第33-35页 |
| ·“zig-zag”多光束测试原理 | 第35-39页 |
| ·常温常压空气介质中的实验 | 第39-42页 |
| ·常温低压空气介质中的实验 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 3 激光等离子体冲击波清洗颗粒机制 | 第47-74页 |
| ·颗粒平面基片吸附 | 第47-55页 |
| ·吸附力 | 第47-50页 |
| ·吸附形变 | 第50-52页 |
| ·颗粒移除机制 | 第52-55页 |
| ·激光等离子体冲击波清洗中的颗粒移除模型 | 第55-73页 |
| ·颗粒形变的影响 | 第56-58页 |
| ·改进的滚动模型 | 第58-63页 |
| ·弹出移除机制 | 第63-72页 |
| ·表面粗糙度、相对湿度对移除的影响 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 4 激光等离子体冲击波清洗颗粒实验 | 第74-87页 |
| ·实验准备和操作 | 第74-77页 |
| ·实验结果及讨论 | 第77-86页 |
| ·工作距离的影响 | 第77-81页 |
| ·激光能量的影响 | 第81-83页 |
| ·颗粒粒径的影响 | 第83-85页 |
| ·重污染和硅片清洗 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 5 激光等离子体冲击波清洗中的安全工作距离 | 第87-99页 |
| ·入射激光的遮挡问题 | 第87-88页 |
| ·工作距离的选择与注意点 | 第88-98页 |
| ·基片宏观破坏的安全距离 | 第88-90页 |
| ·基片微观破坏的安全距离 | 第90-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 6 总结与展望 | 第99-102页 |
| ·论文总结 | 第99-100页 |
| ·创新点总结 | 第100页 |
| ·展望 | 第100-102页 |
| 攻博期间发表的论文 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-121页 |
| 附录 | 第121-122页 |
| 附录A:常用材料HAMAKER及LIFSHITZ-VAN DER WAALS常数表 | 第121-122页 |