首页--数理科学和化学论文--等离子体物理学论文--产生论文

小功率平面微带电感耦合微波等离子体源的研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
第1章 引言第10-15页
     ·研究背景第10-14页
       ·等离子体源的工作原理第11页
       ·小功率等离子体源的特点第11-12页
       ·国内外研究状况第12-14页
     ·本文的主要工作和贡献第14-15页
第2章 微带螺旋谐振天线结构的理论分析第15-32页
     ·微带谐振器基础第15-18页
       ·单端口谐振器第15-16页
       ·匹配网络第16-18页
     ·电感耦合谐振天线第18-26页
       ·螺旋电感的场分析第18-21页
       ·传统ICT谐振结构分析第21-24页
       ·微带结构ICP谐振结构分析第24-26页
     ·加载等离子体负载第26-29页
       ·等效电路分析第26-28页
       ·负载对谐振频率的影响第28-29页
     ·理论计算第29-31页
     ·本章小结第31-32页
第3章 螺旋电感耦合谐振天线的设计和性能研究第32-41页
     ·螺旋线圈设计第32-34页
       ·螺旋线圈尺寸变化对Q值的影响第32-33页
       ·渐变螺旋第33-34页
     ·仿真结果第34-40页
       ·介质介电常数对Q值及其辐射效率的影响第34-39页
       ·耦合结构天线与自谐振结构天线的比较第39-40页
     ·本章小结第40-41页
第4章 实验设备和测试装置第41-49页
     ·实验装置第41-44页
       ·等离子体源和测量系统第41-44页
     ·实验结果和分析第44-49页
       ·谐振天线测量第44-45页
       ·等离子体激发第45-49页
第5章 总结和展望第49-51页
     ·本文工作总结第49页
     ·展望第49-51页
参考文献第51-54页
作者在攻读硕士学位期间发表的论文第54-55页
致谢第55页

论文共55页,点击 下载论文
上一篇:浅析国际法在未来对台军事斗争中的运用
下一篇:LYVE-1的基因克隆及其在巴斯德毕赤酵母细胞中的表达及分离纯化的研究