小功率平面微带电感耦合微波等离子体源的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-15页 |
| ·研究背景 | 第10-14页 |
| ·等离子体源的工作原理 | 第11页 |
| ·小功率等离子体源的特点 | 第11-12页 |
| ·国内外研究状况 | 第12-14页 |
| ·本文的主要工作和贡献 | 第14-15页 |
| 第2章 微带螺旋谐振天线结构的理论分析 | 第15-32页 |
| ·微带谐振器基础 | 第15-18页 |
| ·单端口谐振器 | 第15-16页 |
| ·匹配网络 | 第16-18页 |
| ·电感耦合谐振天线 | 第18-26页 |
| ·螺旋电感的场分析 | 第18-21页 |
| ·传统ICT谐振结构分析 | 第21-24页 |
| ·微带结构ICP谐振结构分析 | 第24-26页 |
| ·加载等离子体负载 | 第26-29页 |
| ·等效电路分析 | 第26-28页 |
| ·负载对谐振频率的影响 | 第28-29页 |
| ·理论计算 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 螺旋电感耦合谐振天线的设计和性能研究 | 第32-41页 |
| ·螺旋线圈设计 | 第32-34页 |
| ·螺旋线圈尺寸变化对Q值的影响 | 第32-33页 |
| ·渐变螺旋 | 第33-34页 |
| ·仿真结果 | 第34-40页 |
| ·介质介电常数对Q值及其辐射效率的影响 | 第34-39页 |
| ·耦合结构天线与自谐振结构天线的比较 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 实验设备和测试装置 | 第41-49页 |
| ·实验装置 | 第41-44页 |
| ·等离子体源和测量系统 | 第41-44页 |
| ·实验结果和分析 | 第44-49页 |
| ·谐振天线测量 | 第44-45页 |
| ·等离子体激发 | 第45-49页 |
| 第5章 总结和展望 | 第49-51页 |
| ·本文工作总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
