| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·微机电系统发展概况 | 第9-10页 |
| ·微机电系统的测试需求 | 第10-12页 |
| ·微机电系统测试方法 | 第12-19页 |
| ·平面运动测试方法 | 第13-17页 |
| ·旋转运动角度测量方法 | 第17页 |
| ·面内变形测量方法 | 第17-19页 |
| ·课题的提出与论文进行的工作 | 第19-21页 |
| 第二章 连续光照明下MEMS微结构平面运动幅值测量方法 | 第21-51页 |
| ·连续光照明下MEMS微结构运动幅值测量原理 | 第21-23页 |
| ·运动模糊图像振幅检测方法 | 第23-25页 |
| ·基于时间平均技术的图像处理方法 | 第23-24页 |
| ·基于贝塞尔条纹技术的图像处理技术 | 第24-25页 |
| ·基于模糊的边缘检测技术的图像处理方法 | 第25页 |
| ·图像增强方法 | 第25-30页 |
| ·直方图均衡化 | 第26页 |
| ·梯度锐化方法 | 第26-27页 |
| ·小波变换增强方法 | 第27-28页 |
| ·基于模糊集的图像增强 | 第28-30页 |
| ·插值细分方法 | 第30-32页 |
| ·双线性插值 | 第30页 |
| ·二元三次样条插值 | 第30-31页 |
| ·分形插值 | 第31-32页 |
| ·边缘检测的亚像素细分算法 | 第32-41页 |
| ·最小二乘法 | 第33页 |
| ·灰度矩边缘检测法 | 第33-34页 |
| ·空间矩边缘检测法 | 第34-35页 |
| ·基于小波的缘检测法 | 第35-41页 |
| ·基于分形插值和小波变换的亚像素边缘检测方法 | 第41-42页 |
| ·试验结果分析与讨论 | 第42-50页 |
| ·基于模糊集的图像增强试验 | 第42-43页 |
| ·分形插值试验结果与分析 | 第43-45页 |
| ·仿真试验结果与分析 | 第45-47页 |
| ·系统放大比例系数标定 | 第47-49页 |
| ·MEMS器件运动幅值测量实验 | 第49-50页 |
| 本章小结 | 第50-51页 |
| 第三章 MEMS微结构运动刚性位移亚像素测量方法 | 第51-83页 |
| ·频闪运动成像技术的测量原理 | 第51-53页 |
| ·基于块匹配的亚像素测量方法 | 第53-62页 |
| ·基于块匹配技术的测量原理 | 第53-57页 |
| ·基于最优根值技术的亚像素测量方法 | 第57-59页 |
| ·针对灰度补偿的算法改进 | 第59-62页 |
| ·基于相关原理的亚像素测量方法 | 第62-71页 |
| ·基于相关技术的测量原理 | 第62-67页 |
| ·基于相关拟合的亚像素测量方法 | 第67-69页 |
| ·相关拟合的亚像素误差补偿 | 第69-71页 |
| ·复杂MEMS微结构三维耦合运动测试技术 | 第71-73页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第73-81页 |
| ·平面运动仿真实验 | 第73-76页 |
| ·测量重复性实验 | 第76-77页 |
| ·MEMS单一频率测试 | 第77-79页 |
| ·在不同电压下MEMS微结构运动测试 | 第79-80页 |
| ·干涉场中MEMS平面运动测试 | 第80-81页 |
| 本章小结 | 第81-83页 |
| 第四章 MEMS微结构平面旋转运动角度测量方法 | 第83-103页 |
| ·旋转角度测量方法 | 第83-86页 |
| ·相位相关及Radon变换技术的角度测量 | 第83-85页 |
| ·Hough变换和边缘直线提取技术的角度测量 | 第85-86页 |
| ·基于区域质心不变技术的角度测量 | 第86-91页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量的原理 | 第86-89页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量的研究及实现 | 第89-91页 |
| ·误差分析 | 第91-92页 |
| ·相位相关与Radon变换技术角度测量的误差分析 | 第91页 |
| ·基于Hough变换及边缘直线提取技术角度测量误差分析 | 第91-92页 |
| ·区域质心不变性技术角度测量的误差分析 | 第92页 |
| ·试验结果与分析 | 第92-101页 |
| ·平面旋转运动仿真测试 | 第92-93页 |
| ·三种算法角度测量分辨力分析 | 第93-96页 |
| ·基于区域质心不变性技术的角度测量 | 第96-101页 |
| 本章小结 | 第101-103页 |
| 第五章 基于相关迭代技术的MEMS微结构面内变形测量方法 | 第103-119页 |
| ·基于数字相关技术的变形测量 | 第103-111页 |
| ·物体面内变形的表征 | 第103-105页 |
| ·数字相关技术的改进 | 第105-107页 |
| ·Newton-Raphson迭代法原理 | 第107-108页 |
| ·改进的初值确定法 | 第108-109页 |
| ·位移和应变的计算 | 第109-111页 |
| ·误差分析与研究 | 第111-114页 |
| ·相关运算误差来源 | 第111页 |
| ·系统误差分析研究 | 第111-113页 |
| ·环境引起的随机误差的研究 | 第113-114页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第114-117页 |
| 本章小结 | 第117-119页 |
| 第六章 结论与展望 | 第119-123页 |
| ·论文的主要工作总结 | 第119-120页 |
| ·论文的创新点总结 | 第120-121页 |
| ·下一步工作展望 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-132页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133页 |
