纳米三坐标测量机主体机台研制及Z轴驱动系统研究
| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·纳米三坐标测量机的研究现状及发展趋势 | 第13-18页 |
| ·纳米三坐标测量机的研究现状 | 第13-17页 |
| ·纳米三坐标测量机的发展趋势 | 第17-18页 |
| ·课题研究的意义 | 第18-19页 |
| ·课题的主要来源和内容 | 第19-20页 |
| 第二章 纳米三坐标测量机主体机台的设计 | 第20-29页 |
| ·三坐标测量机主体机台分析与设计 | 第20-24页 |
| ·传统三坐标测量机主体结构的变形机理分析 | 第20-23页 |
| ·新型主体结构的提出 | 第23-24页 |
| ·主体机台的有限元分析 | 第24-28页 |
| ·有限元法概述 | 第24-25页 |
| ·ANSYS有限元分析软件简介 | 第25-26页 |
| ·有限元分析及对比 | 第26-28页 |
| ·顶盖的设计 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 新型测量机结构的静态特性分析 | 第29-37页 |
| ·新型测量机结构的理论分析 | 第29-31页 |
| ·测量机结构的有限元分析及对比 | 第31-33页 |
| ·测量机结构参数的优化 | 第33-36页 |
| ·优化设计概述 | 第33-34页 |
| ·结构参数的优化 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 新型测量机结构的动力学分析 | 第37-49页 |
| ·动态特性概述 | 第37-38页 |
| ·测量机结构动态特性的理论分析 | 第38-42页 |
| ·结构的动力方程 | 第38-40页 |
| ·结构振动的特性分析 | 第40-41页 |
| ·结构振动响应的特性分析 | 第41-42页 |
| ·动态特性的有限元分析 | 第42-45页 |
| ·结构的模态分析 | 第42-43页 |
| ·结构的谐响应分析 | 第43-45页 |
| ·几种测量机结构的动态分析与对比 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 Z轴驱动系统的研究 | 第49-58页 |
| ·Z轴驱动方式的选择 | 第49-52页 |
| ·纳米电机的选择 | 第50-51页 |
| ·伺服放大器的选择 | 第51-52页 |
| ·数据采集卡的选择 | 第52-53页 |
| ·驱动系统的研究 | 第53-55页 |
| ·纳米电机性能的实验研究 | 第55-57页 |
| ·实验目的 | 第55页 |
| ·实验步骤及数据处理 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结和展望 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58页 |
| ·研究展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
