纳米三坐标测量机Z轴的研制及Z轴驱动系统的研究
| 第一章 绪论 | 第1-20页 |
| ·三坐标测量机简介 | 第13页 |
| ·纳米三坐标测量机简介 | 第13-14页 |
| ·纳米三坐标测量机的发展现状和趋势 | 第14-19页 |
| ·国外概况 | 第14-16页 |
| ·国内概况 | 第16-17页 |
| ·纳米三坐标测量机的发展趋势 | 第17-19页 |
| ·课题的目的及意义 | 第19页 |
| ·课题所要研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 纳米三坐标测量机 Z轴的结构设计 | 第20-42页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·纳米三坐标测量机主体机台及 Z轴简介 | 第21-22页 |
| ·纳米三坐标测量机主体机台简介 | 第21-22页 |
| ·Z轴简介 | 第22页 |
| ·材料的选择 | 第22-23页 |
| ·设计中需要解决的关键问题 | 第23页 |
| ·方案的选择 | 第23-26页 |
| ·Z轴的各部件设计 | 第26-33页 |
| ·导轨的设计 | 第26-27页 |
| ·主轴的设计 | 第27-29页 |
| ·柔性铰链连接件的设计 | 第29-33页 |
| ·柔性铰链简介 | 第29-31页 |
| ·柔性铰链设计 | 第31-33页 |
| ·平衡系统的设计 | 第33-37页 |
| ·方案的选择 | 第33-36页 |
| ·滑轮及滑轮架的设计 | 第36-37页 |
| ·光栅座的设计 | 第37-39页 |
| ·光栅测量系统简介 | 第37页 |
| ·光栅座的设计 | 第37-39页 |
| ·调平机构的设计 | 第39-42页 |
| 第三章 Z轴的结构分析 | 第42-51页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·ANSYS简介 | 第42-43页 |
| ·Z轴的结构静力分析 | 第43-48页 |
| ·验证柔性铰链 | 第48-51页 |
| 第四章 驱动及控制系统的研究 | 第51-62页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·驱动系统的研究 | 第52-55页 |
| ·纳米电机简介 | 第52-53页 |
| ·纳米电机的安装 | 第53-55页 |
| ·纳米电机的预紧 | 第55页 |
| ·控制系统的研究 | 第55-62页 |
| ·纳米电机驱动器AB2盒简介 | 第55-57页 |
| ·PCI-7484数据采集卡简介 | 第57-58页 |
| ·控制信号的输出 | 第58-62页 |
| 第五章 总结及展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |
| 附录一 部分实验器材照片 | 第67-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
