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非晶碳薄膜润湿性能的可控性研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第1章 绪论第11-23页
   ·固体表面的润湿性能第11-15页
     ·接触角的定义以及Young 方程第12页
     ·Wenzel 接触角理论第12-13页
     ·Cassie 接触角理论第13-15页
   ·表面可控润湿性的研究第15-17页
     ·表面的物理化学修饰第15-16页
     ·外力场作用第16-17页
   ·超疏水表面的研究综述第17-19页
     ·超疏水表面的研究动态第17-18页
       ·碳纳米材料第17-18页
       ·特殊聚合物第18页
     ·超疏水表面的发展前景第18-19页
   ·非晶碳薄膜概述第19-22页
     ·非晶碳薄膜的制备第19-20页
     ·非晶碳薄膜润湿性能的研究第20-22页
   ·本文的立题思想第22-23页
第2章 非晶碳薄膜的制备第23-39页
   ·引言第23页
   ·试验第23-25页
   ·结果与分析第25-30页
     ·衬底温度对非晶碳薄膜形貌的影响第25-27页
     ·衬底温度对非晶碳结构的影响第27-28页
     ·溅射功率对非晶碳薄膜形貌的影响第28-30页
   ·非晶碳薄膜形貌生长机制的初步探讨第30-36页
     ·粗糙表面的结构和生长第30-31页
     ·非晶碳薄膜分形生长条件第31-34页
     ·非晶碳薄膜生长机理探讨第34-36页
   ·本章小节第36-39页
第3章 表面形貌对非晶碳薄膜润湿性能的调控第39-55页
   ·引言第39-40页
   ·实验第40页
   ·试验结果第40-43页
     ·衬底温度对薄膜润湿性能的调控第40-42页
     ·射频功率对薄膜润湿性能的调控第42-43页
   ·分析与讨论第43-52页
     ·非晶碳薄膜的化学结构与润湿性能的关系第43-46页
     ·表面形貌分维的测定第46-50页
     ·非晶碳薄膜表面形貌与润湿性能的关系第50-52页
   ·本章小结第52-55页
第4章 等离子表面处理调控非晶碳的润湿性能第55-69页
   ·引言第55-56页
   ·试验第56-57页
   ·结果与分析第57-67页
     ·CF_4 等离子氟化第57-65页
       ·氟化时间第57-61页
       ·射频功率第61-62页
       ·过氟化处理第62-65页
     ·其他等离子处理第65-67页
   ·本章小节第67-69页
第5章 稳定的超疏水薄膜的制备及其性能研究第69-79页
   ·引言第69-70页
   ·实验第70页
   ·结果与讨论第70-77页
     ·超疏水非晶碳薄膜第70-73页
     ·超疏水的稳定性评估第73-77页
   ·本章小节第77-79页
结论第79-81页
参考文献第81-87页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第87-89页
致谢第89页

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