非晶碳薄膜润湿性能的可控性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·固体表面的润湿性能 | 第11-15页 |
| ·接触角的定义以及Young 方程 | 第12页 |
| ·Wenzel 接触角理论 | 第12-13页 |
| ·Cassie 接触角理论 | 第13-15页 |
| ·表面可控润湿性的研究 | 第15-17页 |
| ·表面的物理化学修饰 | 第15-16页 |
| ·外力场作用 | 第16-17页 |
| ·超疏水表面的研究综述 | 第17-19页 |
| ·超疏水表面的研究动态 | 第17-18页 |
| ·碳纳米材料 | 第17-18页 |
| ·特殊聚合物 | 第18页 |
| ·超疏水表面的发展前景 | 第18-19页 |
| ·非晶碳薄膜概述 | 第19-22页 |
| ·非晶碳薄膜的制备 | 第19-20页 |
| ·非晶碳薄膜润湿性能的研究 | 第20-22页 |
| ·本文的立题思想 | 第22-23页 |
| 第2章 非晶碳薄膜的制备 | 第23-39页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·试验 | 第23-25页 |
| ·结果与分析 | 第25-30页 |
| ·衬底温度对非晶碳薄膜形貌的影响 | 第25-27页 |
| ·衬底温度对非晶碳结构的影响 | 第27-28页 |
| ·溅射功率对非晶碳薄膜形貌的影响 | 第28-30页 |
| ·非晶碳薄膜形貌生长机制的初步探讨 | 第30-36页 |
| ·粗糙表面的结构和生长 | 第30-31页 |
| ·非晶碳薄膜分形生长条件 | 第31-34页 |
| ·非晶碳薄膜生长机理探讨 | 第34-36页 |
| ·本章小节 | 第36-39页 |
| 第3章 表面形貌对非晶碳薄膜润湿性能的调控 | 第39-55页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·实验 | 第40页 |
| ·试验结果 | 第40-43页 |
| ·衬底温度对薄膜润湿性能的调控 | 第40-42页 |
| ·射频功率对薄膜润湿性能的调控 | 第42-43页 |
| ·分析与讨论 | 第43-52页 |
| ·非晶碳薄膜的化学结构与润湿性能的关系 | 第43-46页 |
| ·表面形貌分维的测定 | 第46-50页 |
| ·非晶碳薄膜表面形貌与润湿性能的关系 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-55页 |
| 第4章 等离子表面处理调控非晶碳的润湿性能 | 第55-69页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·试验 | 第56-57页 |
| ·结果与分析 | 第57-67页 |
| ·CF_4 等离子氟化 | 第57-65页 |
| ·氟化时间 | 第57-61页 |
| ·射频功率 | 第61-62页 |
| ·过氟化处理 | 第62-65页 |
| ·其他等离子处理 | 第65-67页 |
| ·本章小节 | 第67-69页 |
| 第5章 稳定的超疏水薄膜的制备及其性能研究 | 第69-79页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·实验 | 第70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-77页 |
| ·超疏水非晶碳薄膜 | 第70-73页 |
| ·超疏水的稳定性评估 | 第73-77页 |
| ·本章小节 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |